【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種選擇性發射極太陽能電池的掩膜的制作工藝，尤其晶硅電池片制作工藝，具體地說是一種晶硅太陽能選擇性發射極電池片掩膜的制備方法。
技術介紹
當前選擇性發射極電池技術上有多種實現方法，有激光擴散法、印刷磷漿法、硅墨技術、腐蝕擴散掩膜層等方法。其中激光擴散法需要使用到激光或電鍍設備，工序復雜，設備穩定性難以控制；印刷磷漿法對磷漿要求高，目前磷漿容易高溫揮發，選擇性不佳；硅墨技術同樣需要增加大量新設備，成本較高。不利于高效選擇性發射極電池的產業化。目前采用腐蝕擴散掩膜層制備的選擇性發射極電池大多采用二氧化硅掩膜，由于制備二氧化硅掩膜需要增加高溫氧化爐，完成后進行選擇性去除掩膜，高溫氧化爐制備二氧化硅掩膜時間較長，并且對磷擴散效果的阻擋作用有限，影響二次擴散后硅片內高低結的濃度差，造成選擇性發射極原理實現不完全。
技術實現思路
本專利技術的目的是針對目前選擇性發射極電池腐蝕擴散掩膜層法中二氧化硅掩膜的制備方法周期長，阻擋磷擴散的效果差的問題，提出一種選擇性發射極電池片二氧化硅膜制作方法。本專利技術的目的可以通過以下技術方案實現一種選擇性發射極電池片掩膜的制備方法，其特征在于它包括以下步驟(I)將娃片完全浸沒在有機娃凝膠溶液中,浸泡時間為5s ；(2)取出步驟(I)浸泡過有機硅凝膠溶液的電池片晾干，晾干時間為f 3min ；(3)將步驟(2)得到的電池片進行烘烤，即得到電池片掩膜。步驟(3)的電池片放入烘烤爐中進行烘烤，烘烤溫度5(T300°C，烘烤時間T8min。所述的步驟(3)中電池片的烘烤時間為5min。步驟(I)前還對硅片進行預處理，所述的預處理即對硅片...
【技術保護點】
一種選擇性發射極電池片掩膜的制備方法，其特征在于它包括以下步驟：(1)將硅片完全浸沒在有機硅凝膠溶液中，浸泡時間為5s；(2)取出步驟(1)浸泡過有機硅凝膠溶液的電池片晾干，晾干時間為1~3min；(3)將步驟(2)得到的電池片進行烘烤，即得到電池片掩膜。
【技術特征摘要】
1.一種選擇性發射極電池片掩膜的制備方法，其特征在于它包括以下步驟 (1)將娃片完全浸沒在有機娃凝膠溶液中，浸泡時間為5s； (2)取出步驟(I)浸泡過有機硅凝膠溶液的電池片晾干，晾干時間為f3min； (3)將步驟(2)得到的電池片進行烘烤，即得到電池片掩膜。2.根據權利要求I所述的選擇性發射極電池片掩膜的制備方法，其特征在于步驟(3)的電池片放入烘烤爐中進行烘烤，烘烤溫度5(T300°C，烘烤時間為3 8min。3.根據權利要求2所述的選擇性發...
【專利技術屬性】
技術研發人員：盧春暉，黃侖，王金偉，史孟杰，崔梅蘭，
申請(專利權)人：東方電氣集團宜興邁吉太陽能科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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