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    下載一種高溫超導薄膜連續雙面涂敷裝置的技術資料

    文檔序號:8278817

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    本實用新型涉及到一種連續涂膜裝置,具體說是一種高溫超導薄膜連續雙面涂敷裝置。主要解決超導薄膜涂膜過程中雙面涂敷、連續化和均勻性等技術難題。技術方案為:一種高溫超導連續薄膜雙面涂敷裝置,其特征是設置三個腔室,中間的主腔室和兩側的輔助腔室,腔室...
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