【技術實現步驟摘要】
本技術涉及超導薄膜涂敷裝置，具體說是一種在金屬帶或其他基帶表面兩側同時實現薄膜連續涂敷的裝置。
技術介紹
常用的超導薄膜制備方法包括物理氣相沉積和化學溶液涂層工藝。前者較為成熟,但是需要高真空設備,成本甚高；相比之下,化學法不需要高真空條件,制備成本明顯低于前者，國內外已有不少單位采用化學法成功獲得了第二代高溫超導帶材。在化學法制備超導薄膜的過程中，涂膜是基本組成環節之一，其基本方法主要有旋涂、浸泡、流延涂敷等。這里面旋涂法無法連續成膜；流延涂敷法目前基本上是單側成膜，存在雙側成膜困難的問題。目前普遍使用的化學溶液涂覆方法采用直接的溶液浸泡涂覆。然而這種涂覆需要將溶 液完全暴露在環境氣氛中，很容易受到環境濕度的影響，對溶液的穩定性不利。另外，該方法在連續制備長帶時，需要將基帶由導輪下壓至液面，涂層面為一個弧形面，導輪單面接觸基帶，難以實現雙面涂層。而且，由于溶液暴露面大，連續走帶時間長，涂層溶液受外環境的影響較大，存在溶液揮發、不穩定、浪費嚴重等問題；。
技術實現思路
本技術的目的是提供了一種簡便的可實現雙面涂膜的連續的超導薄膜雙面涂敷裝置。主要解決超導薄膜涂膜過程中雙面涂敷、連續化和均勻性等技術難題。使基帶不與涂膜裝置有固體的接觸，也就是基帶只與溶液接觸，并且可以同時實現雙面涂膜。為達到上述目的，本技術的技術方案是一種連續的超導薄膜雙面涂敷裝置，設置三個腔室，中間的主腔室和兩側的輔助腔室，腔室之間以及腔室與外界之間通過孔或縫連結，基帶直線通過裝置，不與腔室存在固體接觸，并且在通過主腔室的過程中實現雙面涂膜。輔助腔室通過管路連接蠕動泵進口，蠕動泵出口通過管路...
【技術保護點】
一種高溫超導薄膜連續雙面涂敷裝置，其特征是設置三個腔室，中間的主腔室和兩側的輔助腔室，腔室之間以及腔室與外界之間通過孔或縫連結，基帶直線通過裝置，輔助腔室通過管路連接蠕動泵進口，蠕動泵出口通過管路通入主腔室，形成循環回路。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：蔡傳兵，劉志勇，白傳易，魯玉明，
申請(專利權)人：上海上創超導科技有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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