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本實用新型公開了一種刻蝕終點檢測裝置，包括：機械臂、兩個導電器件、電源、電流檢測器、控制電路，其中，機械臂與兩個導電器件分別固定連接，在控制電路的控制下，可帶動兩個導電器件沿垂直于基板表面的方向上下移動；兩個導電器件分離設置，各自的一端與電...該專利屬于北京京東方光電科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京京東方光電科技有限公司授權不得商用。
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本實用新型公開了一種刻蝕終點檢測裝置，包括：機械臂、兩個導電器件、電源、電流檢測器、控制電路，其中，機械臂與兩個導電器件分別固定連接，在控制電路的控制下，可帶動兩個導電器件沿垂直于基板表面的方向上下移動；兩個導電器件分離設置，各自的一端與電...