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一種懸臂伺服機械手，其特征在于：由機架、X軸向驅(qū)動機構(gòu)、Y軸向驅(qū)動機構(gòu)、Z軸向驅(qū)動機構(gòu)以及兩工件夾爪組成；其中，所述Y軸向驅(qū)動機構(gòu)包括兩條Y軸向?qū)к墶⒁籝軸向絲杠螺母機構(gòu)以及Y軸向伺服電機；所述X軸向驅(qū)動機構(gòu)包括一X軸向基座、一X軸向?qū)к墶?..該專利屬于蘇州凱蒂亞半導體制造設備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過蘇州凱蒂亞半導體制造設備有限公司授權(quán)不得商用。