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    下載薄膜圖案形成裝置、薄膜圖案形成方法及裝置的調整方法的技術資料

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    本發明提供一種薄膜圖案形成裝置、薄膜圖案形成方法及裝置的調整方法。當產生噴嘴孔堵塞等不良情況時,不得不停止運轉中的裝置并更換噴頭。期望縮減裝置的運轉停止時間的技術。本發明的薄膜圖案形成裝置中,設置有多個吐出薄膜材料的液滴的噴嘴孔的噴嘴單元與...
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