薄膜圖案形成裝置、薄膜圖案形成方法及裝置的調(diào)整方法制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)提供一種薄膜圖案形成裝置、薄膜圖案形成方法及裝置的調(diào)整方法。當(dāng)產(chǎn)生噴嘴孔堵塞等不良情況時(shí)，不得不停止運(yùn)轉(zhuǎn)中的裝置并更換噴頭。期望縮減裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的技術(shù)。本發(fā)明專利技術(shù)的薄膜圖案形成裝置中，設(shè)置有多個(gè)吐出薄膜材料的液滴的噴嘴孔的噴嘴單元與保持于載物臺(tái)的基板對(duì)置。移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)于噴嘴單元向基板的面內(nèi)方向移動(dòng)基板。第1拍攝裝置檢測(cè)由涂布于基板的薄膜材料形成的薄膜圖案。控制裝置使薄膜材料的液滴從噴嘴單元向基板吐出，由附著于基板的薄膜材料形成檢查圖案。另外，通過獲取并分析用第1拍攝裝置拍攝的檢查圖案的圖像數(shù)據(jù)來判定噴嘴單元的噴嘴孔是否良好。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及一種通過從噴嘴朝向基板吐出薄膜材料的液滴來形成薄膜圖案的裝置、薄膜圖案的形成方法及裝置的調(diào)整方法。
技術(shù)介紹
對(duì)在印刷配線板形成阻焊抗蝕劑圖案的以往的方法進(jìn)行說明。首先，在表面形成有回路圖案的印刷配線板的整個(gè)面涂布感光性阻焊抗蝕劑。利用預(yù)定的掩模圖案，對(duì)阻焊抗蝕劑膜進(jìn)行曝光之后顯影，由此形成阻焊抗蝕劑圖案。將阻焊抗蝕劑液滴化，使液滴僅附著于印刷配線板的所期望的區(qū)域并使其固化，由此形成有阻焊抗蝕劑圖案的技術(shù)備受矚目。阻焊抗蝕劑的液滴從多個(gè)噴嘴朝向印刷配線板吐出。能夠通過向附著于印刷配線板的表面的液滴照射紫外線來使液滴固化。專利文獻(xiàn)I :日本特開2004-104104號(hào)公報(bào)有時(shí)因阻焊抗蝕劑等液狀材料而在噴嘴孔產(chǎn)生堵塞等不良情況。若產(chǎn)生噴嘴堵塞等不良情況，則不得不停止運(yùn)轉(zhuǎn)中的裝置并更換噴頭。期望縮減裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)間的技術(shù)。并且，期望迅速地進(jìn)行噴嘴孔的不良恢復(fù)處理(矯正處理)的技術(shù)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
基于本專利技術(shù)的一個(gè)觀點(diǎn)，提供一種薄膜圖案形成裝置，其具有載物臺(tái)，保持基板；噴嘴單元，與所述基板對(duì)置且設(shè)置有向所述基板吐出薄膜材料的液滴的多個(gè)噴嘴 孔；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，相對(duì)于所述噴嘴單元，向該基板的面內(nèi)方向移動(dòng)所述基板；第I拍攝裝置，檢測(cè)由涂布于所述基板的薄膜材料形成的薄膜圖案；及控制裝置，所述控制裝置使薄膜材料的液滴從所述噴嘴單元向所述基板吐出，由附著于所述基板的薄膜材料形成檢查圖案，獲取用所述第I拍攝裝置拍攝的所述檢查圖案的圖像數(shù)據(jù)，通過分析所獲取的圖像數(shù)據(jù)來判定所述噴嘴單元的噴嘴孔是否良好。基于本專利技術(shù)的其他觀點(diǎn)，提供一種薄膜圖案形成方法，所述薄膜圖案形成方法具有從具有多個(gè)噴嘴孔的噴嘴單元吐出薄膜材料的液滴來在基板上形成由薄膜材料構(gòu)成的檢查圖案的工序；通過觀察所述檢查圖案來判定所述噴嘴孔是否良好的工序；及在停止從判定為不良的所述噴嘴孔吐出薄膜材料的狀態(tài)下，從正常的所述噴嘴孔吐出薄膜材料，由此在基板上形成作為目標(biāo)的薄膜圖案的工序。基于本專利技術(shù)的又一其他觀點(diǎn)，提供一種薄膜形成裝置的調(diào)整方法，所述薄膜形成裝置具有載物臺(tái)，其在保持面保持基板；多個(gè)噴頭，其與保持在所述載物臺(tái)的基板對(duì)置且形成有朝向所述基板吐出薄膜材料的液滴的多個(gè)噴嘴孔；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述載物臺(tái)與所述噴頭中的一方相對(duì)于另一方朝向與所述保持面平行的方向移動(dòng)；及拍攝裝置，能夠相對(duì)于所述噴頭移動(dòng)，并構(gòu)成為能夠移動(dòng)至能夠拍攝所述噴嘴孔的位置，所述調(diào)整方法具有 將所述拍攝裝置移動(dòng)至能夠拍攝所述噴頭的位置，并拍攝至少2個(gè)所述噴頭的工序；及根據(jù)拍攝到的所述噴頭的圖像，調(diào)整多個(gè)所述噴頭的相對(duì)位置的工序。專利技術(shù)效果能夠通過進(jìn)行使判定為不良的噴嘴孔不吐出薄膜材料的控制來防止產(chǎn)生起因于不良噴嘴孔的薄膜圖案不良。并且，即使在產(chǎn)生不良噴嘴孔的狀態(tài)下也能夠進(jìn)行薄膜圖案的形成，由此來抑制裝置運(yùn)轉(zhuǎn)率的下降。能夠通過拍攝至少2個(gè)所述噴頭來輕松地調(diào)整噴頭的相對(duì)位置。附圖說明圖I是實(shí)施例I的描繪裝置的概要圖。圖2A是噴嘴單元的立體圖，圖2B是噴嘴單元的仰視圖。圖3是表示噴嘴與噴嘴圖像的位置關(guān)系的圖。圖4是形成薄膜圖案的基板的俯視圖。圖5A是噴嘴單元與噴嘴單元支承機(jī)構(gòu)的仰視圖，圖5B是表示基板表面的掃描順序的圖。圖6A是拆卸一個(gè)噴嘴單元的狀態(tài)的噴嘴單元與噴嘴單元支承機(jī)構(gòu)的仰視圖，圖6B是表示拆卸一個(gè)噴嘴單元的狀態(tài)下的基板表面的掃描順序的圖。圖7A是實(shí)施例I的薄膜圖案形成方法的流程圖。圖7B是圖7A的步驟S4的詳細(xì)流程圖。圖7C是圖7A的步驟S8的詳細(xì)流程圖。圖8A是表示設(shè)計(jì)上的檢查圖案的圖，圖8B是表示實(shí)際上形成的檢查圖案的一例的圖。圖9A是正常薄膜圖案的一部分的俯視圖，圖9B是產(chǎn)生不良的薄膜圖案的一部分的俯視圖。圖10是實(shí)施例2的薄膜形成裝置的概要圖。圖11是實(shí)施例2的薄膜形成裝置的載物臺(tái)、拍攝裝置、矯正裝置及噴頭單元的立體圖。圖12A是形成于基板上的薄膜圖案的俯視圖，圖12B是形成于基板上的包含不良部位的薄膜圖案的俯視圖。圖13是實(shí)施例2的薄膜形成裝置的修理方法的流程圖。圖14是噴頭單元及拍攝裝置的截面圖。圖15是表示噴頭單元及拍攝裝置的拍攝范圍的位置關(guān)系的圖。圖16是用于說明其他實(shí)施例的薄膜形成裝置的調(diào)整方法的、表示噴嘴單元及拍攝裝置的拍攝范圍的位置關(guān)系的圖。圖17是用于說明其他實(shí)施例的變形例的薄膜形成裝置的調(diào)整方法的、表示噴嘴單元及拍攝裝置的拍攝范圍的位置關(guān)系的圖。圖18是實(shí)施例3的包括液滴吐出裝置的薄膜形成裝置的概要圖。圖19A是對(duì)準(zhǔn)站中所包含的對(duì)準(zhǔn)裝置的概要圖，圖19B及圖19C是對(duì)準(zhǔn)站中的基 板的俯視圖。圖20A及圖20B是檢查成膜站中所包含的液滴吐出裝置的一部分的概要圖。圖21A是表示噴嘴單元的概要圖，圖21B是表示噴嘴單元的液滴吐出面的俯視圖，圖21C是表示噴嘴單元的配置的概要俯視圖。圖22A 圖22D是基板反轉(zhuǎn)站中所包含的基板反轉(zhuǎn)裝置及紫外線照射裝置的概要圖。圖23A、圖23C及圖23E是基板保持器的概要俯視圖，圖23B、圖23D及圖23F是基板保持器的概要側(cè)視圖。圖24A是對(duì)實(shí)施例3的液滴吐出裝置的檢查功能進(jìn)行說明的圖，圖24B及圖24C是對(duì)實(shí)施例4的液滴吐出裝置的檢查功能進(jìn)行說明的圖。圖24D 圖24F是對(duì)實(shí)施例4的液滴吐出裝置的檢查功能進(jìn)行說明的圖，圖24G是對(duì)實(shí)施例5的液滴吐出裝置的檢查功能進(jìn)行說明的圖。圖25A、圖25B是表示實(shí)施例6的薄膜材料的涂布結(jié)果的例子的圖，圖25C是表示實(shí)施例7的薄膜材料的涂布結(jié)果的例子的圖。圖26是實(shí)施例8的薄膜形成裝置的概要圖。圖27是實(shí)施例9的薄膜形成裝置的概要圖。圖28A及圖28B是對(duì)格伯?dāng)?shù)據(jù)校正的一例進(jìn)行說明的圖。圖中20_底板，21-移動(dòng)機(jī)構(gòu)，22-X移動(dòng)機(jī)構(gòu)，23-Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)，24-Θ旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，25-載物臺(tái)，30-支柱，31-橫梁，32-拍攝裝置，33-控制裝置，34-存儲(chǔ)裝置，35-輸入裝置，36-輸出裝置，37-矯正裝置，38-不良部位，40-噴嘴單元，41-噴嘴夾具(支承部件)，42、42A 42D-噴頭，43-光源，45-噴嘴孔，45r_成為基準(zhǔn)的噴嘴孔，46、46a、46b-噴嘴列，47-測(cè)角儀，48-升降機(jī)構(gòu)，50-基板，51 -目標(biāo)圖案區(qū)域，52-未使用區(qū)域，53-薄膜圖案，55A 55D-噴嘴孔的圖像，56-與X軸垂直的假想平面，60-設(shè)計(jì)上的檢查圖案，61-形成的檢查圖案，65-噴嘴單元支承機(jī)構(gòu)，66-傳感器，67-驅(qū)動(dòng)器，70-單元掃描區(qū)域，71-Pass區(qū)域，75-涂布有液狀材料的區(qū)域，76-開口，77-輔體(satellite)，80-拍攝裝置，81-照明裝置，82-拍攝范圍，101-基板搬入口，102-對(duì)準(zhǔn)站，103-檢查成膜站，104-基板反轉(zhuǎn)站，105-對(duì)準(zhǔn)站，106-檢查成膜站，107-基板搬出口，111 114-提升器，115、116-輸送器，118-筐體，120-控制裝置，120a-存儲(chǔ)裝置，121 127-基板，122a 122d_對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，128-檢查用板，129-基板，129a-薄膜圖案形成區(qū)域，129b-檢查區(qū)域，131-底座(基臺(tái))，132-X載物臺(tái)，133-Θ載物臺(tái)，134-卡盤板，135 138-CCD照相機(jī)，141-底座，142-框架，142a、142b-支柱，142c本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種薄膜圖案形成裝置，其具有：載物臺(tái)，保持基板；噴嘴單元，與所述基板對(duì)置且設(shè)置有多個(gè)向所述基板吐出薄膜材料的液滴的噴嘴孔；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，相對(duì)于所述噴嘴單元，向該基板的面內(nèi)方向移動(dòng)所述基板；第1拍攝裝置，檢測(cè)由涂布于所述基板的薄膜材料形成的薄膜圖案；及控制裝置，所述控制裝置使薄膜材料的液滴從所述噴嘴單元向所述基板吐出，由附著于所述基板的薄膜材料形成檢查圖案，獲取用所述第1拍攝裝置拍攝的所述檢查圖案的圖像數(shù)據(jù)，通過分析所獲取的圖像數(shù)據(jù)來判定所述噴嘴單元的噴嘴孔是否良好。

【技術(shù)特征摘要】
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：岡本裕司，磯圭二，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：住友重機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社，
類型：發(fā)明
國別省市：