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    下載真空檢漏系統的線性能力測試方法的技術資料

    文檔序號:8321725

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    本發明公開了真空檢漏系統的線性能力測試方法,包括以下步驟:1)將真空檢漏系統調整至檢漏工作狀態并選擇若干在計量有效期內的真空標準漏孔;2)按真空檢漏法的檢漏過程,分別針對各個真空標準漏孔的漏率進行測試,并實時記錄相對應的真空檢漏系統的漏率反...
    該專利屬于北京衛星環境工程研究所所有,僅供學習研究參考,未經過北京衛星環境工程研究所授權不得商用。

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