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    真空檢漏系統的線性能力測試方法技術方案

    技術編號:8321725 閱讀:264 留言:0更新日期:2013-02-13 21:10
    本發明專利技術公開了真空檢漏系統的線性能力測試方法,包括以下步驟:1)將真空檢漏系統調整至檢漏工作狀態并選擇若干在計量有效期內的真空標準漏孔;2)按真空檢漏法的檢漏過程,分別針對各個真空標準漏孔的漏率進行測試,并實時記錄相對應的真空檢漏系統的漏率反應值;3)數據處理及評價。本發明專利技術異常的方便,資源需求少,可以現場對真空檢漏系統的線性能力進行評估,且不需要額外的工裝及功耗品,成本低廉。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術屬于檢漏
    ,具體來說,涉及一種真空檢漏系統線性能力的測試方法,可以應用于真空檢漏系統線性能力的評定。
    技術介紹
    真空檢漏法是一種比對法,因而真空檢漏系統的線性能力則在很大程度上制約著該種檢漏方法測試結果的可靠性。現階段國內尚沒有對真空檢漏系統的線性能力進行測試的方法,從而導致不能評價真空檢漏系統的線性能力。因此,本領域迫切需要一種能對真空檢漏系統的線性能力進行評估的方法,以提高真空檢漏法測試結果的可靠性。
    技術實現思路
    本專利技術的目的是提供一種真空檢漏系統線性能力的測試方法,以便提高真空檢漏法測試結果的可靠性。本專利技術所提供的具體方案如下本專利技術的,包括以下步驟I)試驗準備a.將真空檢漏系統調整至檢漏工作狀態;b.選擇若干在計量有效期內的真空標準漏孔,且這些漏孔應覆蓋工程中需要的量程范圍,建議真空標準漏孔的數量在6個以上,優選10個以上。2)試驗測試按真空檢漏法的檢漏過程,分別針對各個真空標準漏孔的漏率進行測試,并實時記錄相對應的真空檢漏系統的漏率反應值。3)數據處理及評價a.處理真空標準漏孔的標稱值和與之對應的檢漏系統的漏率反應值,并做y = kx+b形式的線性擬合,其中坐標軸采用對數坐標;b.根據線性擬合的結果及決定系數R的數值,對該真空檢漏系統的線性能力進行評價,即若決定系數R大于等于O. 90,則確定該真空檢漏系統的線性能力良好。本專利技術技術方案的特點包括I.本專利技術異常的方便,資源需求少,可以現場對真空檢漏系統的線性能力進行評估。本專利技術不需要額外的工裝及功耗品,因此成本低廉。附圖說明圖I是真空檢漏系統檢漏時的不意其中,I-真空標準漏孔,2-真空室,3-放氣閥,4-分子泵,5-機械泵,6_氦質譜檢漏儀。3圖2是某真空檢漏系統線性能力測試的結果。橫坐標I為真空檢漏系統的漏率反應值,縱坐標Q1為真空標準漏孔的標稱值。具體實施例方式以下介紹的是作為本專利技術所述內容的具體實施方式,下面通過具體實施方式對本專利技術的所述內容作進一步的闡明。當然,描述下列具體實施方式只為示例本專利技術的不同方面的內容,而不應理解為限制本專利技術范圍。作為示例,本專利技術采用了如下一種具體的真空檢漏系統,如圖I所示,該真空檢漏系統由真空室2,放氣閥3,分子泵4,機械泵5,氦質譜檢漏儀6以及其間的連接管路組成。該真空檢漏系統的特點是氦質譜檢漏儀6接在分子泵4的前級。本專利技術的測試過程為開啟真空檢漏系統,待真空室2中的真空度優于·I. 3 X 10 時,將第一個真空標準漏孔I接在真空室2上,此時記錄相對應的真空檢漏系統的漏率反應值(其值由真空檢漏系統中的氦質譜檢漏儀6給出),卸下第一個真空標準漏孔,換第二個真空標準漏孔,同樣能得到第二個真空檢漏系統的漏率反應值,以此類推,直至完成所有的真空標準漏孔。本專利技術的,具體實施步驟如下I)試驗準備a.將真空檢漏系統調整至檢漏工作狀態;b.選擇若干在計量有效期內的真空標準漏孔,且這些漏孔應覆蓋工程中需要的量程范圍,建議真空標準漏孔的數量在6個以上,優選10個以上。2)試驗測試按真空檢漏法的檢漏過程,分別針對各個真空標準漏孔的漏率進行測試,并實時記錄相對應的真空檢漏系統的漏率反應值。3)數據處理及評價a.處理真空標準漏孔的標稱值和與之對應的真空檢漏系統的漏率反應值,并做y=kx+b形式的線性擬合;b.由于擬合圖形的坐標軸數值跨越幾個數量級,因此,建議采用對數坐標系;c.根據線性擬合的結果及擬合質量的評價參數(決定系數R),對該真空檢漏系統的線性能力進行評價;d.若決定系數R > O. 90,則可以認為該真空檢漏系統的線性能力良好。如對某真空檢漏系統的線性能力進行測試,所測得的數據如表I所示。表I測試某真空檢漏系統線性能力的試驗數據本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    真空檢漏系統的線性能力測試方法,包括以下步驟:1)試驗準備:a.將真空檢漏系統調整至檢漏工作狀態;b.選擇若干在計量有效期內的真空標準漏孔,且這些漏孔應覆蓋工程中需要的量程范圍,真空標準漏孔的數量在6個以上;2)試驗測試:按真空檢漏法的檢漏過程,分別針對各個真空標準漏孔的漏率進行測試,并實時記錄相對應的真空檢漏系統的漏率反應值;3)數據處理及評價:a.處理真空標準漏孔的標稱值和與之對應的檢漏系統的漏率反應值,并做y=kx+b形式的線性擬合,其中坐標軸采用對數坐標;b.根據線性擬合的結果及決定系數R的數值,對該真空檢漏系統的線性能力進行評價,即若決定系數R大于等于0.90,則確定該真空檢漏系統的線性能力良好。

    【技術特征摘要】
    1.真空檢漏系統的線性能力測試方法,包括以下步驟1)試驗準備a.將真空檢漏系統調整至檢漏工作狀態;b.選擇若干在計量有效期內的真空標準漏孔,且這些漏孔應覆蓋工程中需要的量程范圍,真空標準漏孔的數量在6個以上;2)試驗測試按真空檢漏法的檢漏過程,分別針對各個真空標準漏孔的漏率進行測試,并實時記錄相對應的真空檢漏系統的漏率反應值;3)數據處理及評價a.處...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:王勇孫立臣閆榮鑫孫繼鵬汪力孫立志郭海濤
    申請(專利權)人:北京衛星環境工程研究所
    類型:發明
    國別省市:

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