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本實用新型公開了一種硅片自動下料設備，包括：用于傳送來自于濕制程設備的硅片的第一傳送機構，其包括第一傳送帶；傳送方向與第一傳送機構相同且分別與第一傳送帶對接的第二傳送帶和第三傳送帶；與第三傳送帶對接且傳送方向相同的第二傳送機構，用于將硅片送...該專利屬于庫特勒自動化系統（蘇州）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過庫特勒自動化系統（蘇州）有限公司授權不得商用。
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