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本實用新型涉及一種擴散石英舟，具體的涉及一種防硅片錯位的擴散石英舟。該種防硅片錯位的擴散石英舟，包括舟體，其特征在于，所述舟體內設有若干個擋板，該擋板包括若干石英片；所述擋板為中間低兩端高；所述舟體底部縱向一側的外表面上固定有支撐結構。該種...
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