一種防硅片錯位的擴散石英舟制造技術

本實用新型專利技術涉及一種擴散石英舟，具體的涉及一種防硅片錯位的擴散石英舟。該種防硅片錯位的擴散石英舟，包括舟體，其特征在于，所述舟體內設有若干個擋板，該擋板包括若干石英片；所述擋板為中間低兩端高；所述舟體底部縱向一側的外表面上固定有支撐結構。該種擴散石英舟既解決高溫紙源擴散后硅片發生較大錯位后難以從擴散舟內取片的問題；又解決了高溫紙源擴散后用來定位的石英棒易變形斷裂的問題。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

一種防硅片錯位的擴散石英舟
本技術涉及一種擴散石英舟，具體的涉及一種防硅片錯位的擴散石英舟。
技術介紹
制造功率硅整流元件的關鍵工藝是硅單晶片的雜質擴散，紙源擴散是將兩種紙源與硅片交替疊放于擴散石英舟，在進行高溫紙源擴散過程中，紙源的燃燒會發生輕微的沸動，由紙源燃燒所產生大量熱能轉化而來的動能會使得硅片產生位移而錯位，硅片放置在傳統的擴散石英舟內會發生較大的位移而錯位，并且傳統擴散石英舟很容易發生變形，這樣導致硅片與擴散石英舟之間的間隙變得很小，紙源擴散后硅片不易從擴散石英舟內取出，這樣在進行后續浸泡氫氟酸的工序時，需要將整個擴散石英舟與硅片一起浸泡入氫氟酸內，而氫氟酸對石英有較強的腐蝕性，這樣大大減少了擴散石英舟的壽命。傳統的擴散石英舟采用的是四根石英棒作為定位點，在高溫的作用下，石英棒較易變形從而易斷裂，減少了石英舟的整體壽命。
技術實現思路
本技術的目的在于針對上述存在的缺陷而提供一種防硅片錯位的擴散石英舟，該種擴散石英舟既解決高溫紙源擴散后硅片發生較大錯位后難以從擴散石英舟內取片的問題；又解決了高溫紙源擴散后用來定位的石英棒易變形斷裂的問題。本技術的技術方案為一種防硅片錯位的擴散石英舟，包括舟體，所述舟體內設有若干個擋板，該擋板包括若干石英片；所述擋板為中間低兩端高；所述舟體底部縱向一側的外表面上固定有支撐結構。所述支撐結構為單根圓棒。所述的單根圓棒為石英棒所述石英棒的直徑為3 5mm。本技術的有益效果為本技術的防硅片錯位的擴散石英舟，在舟體內設有若干個擋板作為定位點，取代傳統的四根石英棒作為定位點，從根本上解決因在高溫作用下，石英棒變形易斷裂而縮短擴散石英舟整體壽命的問題。同時，擋板包括若干石英片， 這樣在一定基礎上減小了擋板的應力釋放，減少擋板使用過程中的損傷，從而也提高了擴散石英舟的使用效果及壽命。擋板中間低兩端高的設計，既能滿足擋板的定位作用，又可以為擴散石英舟內的空氣流動提供了通道。在舟體底部縱向一側的外表面上固定有支撐結構，該支撐結構作為一支撐位，使擴散石英舟在放置于水平面上時，整體向一邊稍微傾斜。當將硅片放置于該擴散石英舟內， 娃片也會隨著擴散石英舟向一邊傾斜一定的角度，同時在定位點擋板的作用下，在高溫紙源擴散過程中硅片無法產生較大的位移而引起錯位，避免因硅片的移位而造成紙源擴散后難以取片的問題，這樣在后續浸泡氫氟酸的工序時，只需將取出的硅片放入氫氟酸即可，無需再將整個擴散石英舟泡入氫氟酸酸內，避免了氫氟酸對擴散石英舟的腐蝕，相較于傳統擴散石英舟而言，該防硅片錯位的擴散石英舟提高了使用壽命。附圖說明圖I為本技術具體實施方式中防硅片錯位的擴散石英舟結構俯視圖；圖2為本技術具體實施方式中防硅片錯位的擴散石英舟結構側視圖；圖3為圖2的左視圖；其中，I為舟體,2為擋板,3為石英片,4為支撐結構。具體實施方式以下結合附圖，對本技術的技術方案進行詳細的說明。從圖I、圖2、圖3中可以看出，本技術的一種防硅片錯位的擴散石英舟，包括舟體1，所述舟體I內設有若干個擋板2，該擋板2包括若干石英片3 ;所述擋板2為中間低兩端高；所述舟體I底部縱向一側的外表面上固定有支撐結構4。所述支撐結構4為單根圓棒。所述的單根圓棒為石英棒。所述石英棒的直徑為3 5mm。當進行高溫紙源擴散時，將硅片放置于該擴散石英舟內，因在舟體I底部縱向一側的外表面上固定有支撐結構4，該支撐結構4作為一支撐位，使擴散石英舟在放置于水平面上時，整體向一邊稍微傾斜，硅片也會隨著擴散石英舟向一邊傾斜一定的角度，同時在作為定位點的擋板2的作用下，在高溫紙源擴散過程中硅片無法產生較大的位移而引起錯位。權利要求1.一種防硅片錯位的擴散石英舟，包括舟體，其特征在于，所述舟體內設有若干個擋板，該擋板包括若干石英片；所述擋板為中間低兩端高；所述舟體底部縱向一側的外表面上固定有支撐結構。2.根據權利要求I所述的防硅片錯位的擴散石英舟，其特征在于，所述支撐結構為單根圓棒。3.根據權利要求2所述的防硅片錯位的擴散石英舟，其特征在于，所述的單根圓棒為石英棒。4.根據權利要求3所述的防硅片錯位的擴散石英舟，其特征在于，所述石英棒的直徑為3 Smnin專利摘要本技術涉及一種擴散石英舟，具體的涉及一種防硅片錯位的擴散石英舟。該種防硅片錯位的擴散石英舟，包括舟體，其特征在于，所述舟體內設有若干個擋板，該擋板包括若干石英片；所述擋板為中間低兩端高；所述舟體底部縱向一側的外表面上固定有支撐結構。該種擴散石英舟既解決高溫紙源擴散后硅片發生較大錯位后難以從擴散舟內取片的問題；又解決了高溫紙源擴散后用來定位的石英棒易變形斷裂的問題。文檔編號H01L21/673GK202749355SQ201220502719公開日2013年2月20日 申請日期2012年9月27日 優先權日2012年9月27日專利技術者陳思太, 盛春芳, 周濤 申請人:淄博晨啟電子有限公司本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種防硅片錯位的擴散石英舟，包括舟體，其特征在于，所述舟體內設有若干個擋板，該擋板包括若干石英片；所述擋板為中間低兩端高；所述舟體底部縱向一側的外表面上固定有支撐結構。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳思太，盛春芳，周濤，
申請(專利權)人：淄博晨啟電子有限公司，
類型：實用新型
國別省市：