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本發明涉及一種MEMS壓阻式壓力傳感器及其制備方法，該MEMS壓阻式壓力傳感器包括應變膜和壓敏電阻，應變膜的正面邊緣分布有島結構，壓敏電阻位于所述島結構上。在制備時基片正面島結構的制作在背腔各向異性腐蝕之前，避免正面制作島結構時應變膜出現崩...
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