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    下載互補型阻變存儲器及制備方法的技術資料

    文檔序號:8367460

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    本發明公開了一種互補型阻變存儲器及制備方法。該存儲器,由下至上依次包括底電極、氧儲備層、存儲介質層和頂電極。其中,二氧化鈦納米存儲介質層和氮氧化鈦氧存儲層是通過將氮化鈦薄膜進行等離子體氧化的方法制備。通過電激勵使氧空位在納米存儲介質層的上、...
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