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一種激光蒸發鍍膜裝置，其特征在于：包括一真空反應腔；一基板架；一CO2激光器；一He-Ne激光器；一分束鏡，位于真空反應腔外并呈45度角設于CO2激光器與He-Ne激光器所發出的激光束的相交位置處；一聚焦凸透鏡；一散焦凹透鏡；一鉗鍋，用以盛...該專利屬于中山市創科科研技術服務有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中山市創科科研技術服務有限公司授權不得商用。
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一種激光蒸發鍍膜裝置，其特征在于：包括一真空反應腔；一基板架；一CO2激光器；一He-Ne激光器；一分束鏡，位于真空反應腔外并呈45度角設于CO2激光器與He-Ne激光器所發出的激光束的相交位置處；一聚焦凸透鏡；一散焦凹透鏡；一鉗鍋，用以盛...