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本發(fā)明公開(kāi)了一種新型石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，包括直聯(lián)旋片泵和分子增壓泵；當(dāng)直聯(lián)旋片泵首先啟動(dòng)并且將爐體內(nèi)的壓強(qiáng)抽至200Pa以下時(shí)，分子增壓泵開(kāi)始啟動(dòng)并將爐體內(nèi)壓強(qiáng)抽至10-3Pa以下。本發(fā)明還公開(kāi)了一種石英玻璃真空脫羥爐，包括爐體和...該專(zhuān)利屬于江蘇太平洋石英股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)江蘇太平洋石英股份有限公司授權(quán)不得商用。