本發明專利技術公開了一種新型石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，包括直聯旋片泵和分子增壓泵；當直聯旋片泵首先啟動并且將爐體內的壓強抽至200Pa以下時，分子增壓泵開始啟動并將爐體內壓強抽至10-3Pa以下。本發明專利技術還公開了一種石英玻璃真空脫羥爐，包括爐體和與爐體相連接的上述的石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置。本發明專利技術還公開了一種石英玻璃真空脫羥爐用抽真空方法，首先開啟直聯旋片泵，將爐體內的壓強抽至200Pa以下；然后開啟分子增壓泵，將爐體內壓強抽至10-3Pa以下。本發明專利技術能夠降低抽氣功率，提高極限真空度，降低生產成本，改善工作環境。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及石英玻璃真空脫羥領域的抽真空裝置，尤其涉及一種石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，以及一種石英玻璃真空脫羥用抽真空方法，以及一種石英玻璃真空脫羥爐。
技術介紹
現有技術中，石英玻璃管真空脫羥的抽真空設備，要獲得中、高真空，需要由三級真空機組，以前的三級一般主要包括擴散泵、羅茨泵和旋片泵。由于三級真空系統復雜、運行、維護成本高，真空內部環境、外部環境都很差，對產品質量運行較大，而新型抽真空裝置能夠解決這些問題。
技術實現思路
本專利技術專利要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，本石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置能夠降低抽氣功率，提高極限真空度， 降低生產成本,改善工作環境。本專利技術還提供了石英玻璃真空脫羥用抽真空方法,本石英玻璃真空脫羥用抽真空方法能夠降低抽氣功率，提高極限真空度，降低生產成本，改善工作環境。本專利技術還提供了一種石英玻璃真空脫羥爐，本石英玻璃真空脫羥爐能夠降低抽氣功率， 提高極限真空度，降低生產成本，改善工作環境。針對石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，本專利技術采取的技術方案為一種新型石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，其特征在于包括直聯旋片泵和與直聯旋片泵相連并且在低于200Pa的壓強下能夠啟動的分子增壓泵；當直聯旋片泵首先啟動并且將爐體內的壓強抽至200Pa以下時，分子增壓泵開始啟動并將爐體內壓強抽至10_3Pa以下。分子增壓泵采用的是是新型中真空、高真空兼用真空泵，是目前其它真空泵所沒有的特性，其圓盤式葉輪是其技術的核心，抗大氣沖擊能力強，抽氣速度快。作為本專利技術進一步改進的技術方案，當直聯旋片泵首先啟動并且將爐體內的壓強抽至200Pa以下時，分子增壓泵開始啟動并將爐體內壓強抽至10_3Pa_10_4Pa。作為本專利技術進一步改進的技術方案，還包括連接在分子增壓泵和直聯旋片泵之間的電磁壓差閥。電磁壓差閥開啟，旋片泵與分子增壓泵聯通；電磁壓差閥關閉，則旋片泵與分子增壓泵斷開。作為本專利技術進一步改進的技術方案，還包括一端與分子增壓泵相連接的高真空閥，聞真空閥的另一端用于連接爐體。聞真空閥開啟，真空室與真空系統聯通；聞真空閥關閉，則真空室與真空系統斷開。針對石英玻璃真空脫羥爐，本專利技術采取的技術方案為一種石英玻璃真空脫羥爐， 包括爐體和與爐體相連接的上述的石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置。針對石英玻璃真空脫羥用抽真空方法，本專利技術采取的技術方案為一種石英玻璃真空脫羥爐用抽真空方法，包括以下步驟首先，開啟直聯旋片泵，將爐體內的壓強抽至200Pa以下；然后，開啟分子增壓泵，將爐體內壓強抽至10_3Pa以下。作為本專利技術進一步改進的技術方案，開啟分子增壓泵，將爐體內壓強抽至 11 (T3Pa-1 (T4Pa。作為本專利技術進一步改進的技術方案，在開啟直聯旋片泵之前，還包括開啟連接在分子增壓泵和直聯旋片泵之間的電磁壓差閥和連接在爐體和分子增壓泵之間的高真空閥的步驟。本專利技術在原三級真空機組的基礎上將石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置改為由直聯旋片泵和分子增壓泵組成的二級真空機組。本專利技術的優點有結構簡單，運行可靠；工作范圍寬，在200Pa—10_5Pa壓強范圍內，甚至在200Pa—10_7Pa壓強范圍內能連續運行，可作中、高真空兩臺泵使用；中真空抽速高，比傳統的中真空系統高出3-5倍，是目前抽速最高的中真空系統；能獲得清潔真空；節能顯著，能耗僅為傳統中真空系統的5%，油擴散泵的 10%，分子泵+羅茨泵機組的30% ;抽氣效率高，大部分場合能在幾分鐘內獲得10_3Pa高真空；轉速低，比現有分子泵的轉速低30%，軸承壽命顯著延長；維護方便。總之，本專利技術與現有技術相比，設備使用安全系數高，運行成本低；改善了石英玻璃的脫羥效果，優于傳統的真空系統，石英玻璃管的光透、表面質量、理化性能、等都有大幅度的提高，特別是去除氫氧根的效果極佳，能夠做到小于O. lppm。滿足電光源、半導體、光纖等行業的特殊需求；能夠降低抽氣功率，提高極限真空度，降低生產成本，改善工作環境。附圖說明圖1為本專利技術的結構示意圖。下面結合附圖對本專利技術的具體實施方式作進一步說明。具體實施方式實施例1參見圖1，本新型石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，包括直聯旋片泵和與直聯旋片泵相連并且在低于200Pa的壓強下能夠啟動的分子增壓泵；還包括連接在分子增壓泵和直聯旋片泵之間的電磁壓差閥；還包括一端與分子增壓泵相連接的高真空閥，高真空閥的另一端用于連接爐體；當直聯旋片泵首先啟動并且將爐體內的壓強抽至200Pa以下時，分子增壓泵開始啟動并將爐體內壓強抽至10_3Pa_10_4Pa。本新型石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置工作時，首先開啟高真空閥和電磁壓差閥；然后開啟直聯旋片泵，將爐體內的壓強抽至200Pa以下；最后開啟分子增壓泵，將爐體內壓強抽至10_3Pa以下。本實施例中，使用分子增壓泵，從而變成兩級，分子增壓泵是新型中真空、高真空兼用真空泵，是目前其它真空泵所沒有的特性，其圓盤式葉輪是其技術的核心，抗大氣沖擊能力強，抽氣速度快。電磁壓差閥開啟，旋片泵與分子增壓泵聯通；電磁壓差閥關閉，則旋片泵與分子增壓泵斷開。高真空閥開啟，真空室與真空系統聯通；高真空閥關閉，則真空室與真空系統斷開。高真空閥是指符合高真空技術要求的主要在該真空區域內使用的一種真空閥。分子增壓泵是在真空系統中用于獲得高真空的真空泵。旋片泵是分子增壓泵的前級泵。分子增壓泵工作原理分子增壓泵的抽氣機理是基于全拖動的原理。氣體分子在與其他分子或物體碰撞時，可以發生動量交換，若氣體分子能始終獲得定向動量，便能實現抽氣作用。當氣體分子與高速定向運動的蒸汽流碰撞時，氣體分子是與單個油蒸汽分子之間發生動量交換。而氣體分子與聞速運動的物體發生碰撞時，則是氣體分子與剛性表面之間發生動量交換。分子增壓泵就是屬于后者。該泵的抽氣單元為圓盤上分割出的從邊緣指向中心的螺旋通道，吸氣級具有兩個平行的拖動面，而壓縮級僅有一個拖動面，且壓縮級是由多個拖動面串接而成，氣體沿著螺旋通道依次由中心流向外緣，再由外緣流向中心，多級迂回后最終流向排氣口。高速旋轉的圓盤平面傳遞給碰撞其上的氣體分子的動量應沿著切線方向，由于分割出的螺旋通道與半徑方向有一夾角，故氣體分子所獲得的切向動量沿著螺旋通道方向有一分量，該分量迫使氣體分子沿著通道從圓盤的外緣向中心運動(壓縮)，同樣改變螺旋方向，也能迫使氣體分子從中心向外緣運動(壓縮)。正是多級的壓縮通道串接起來，使得分子增壓泵可以形成巨大的壓縮比(對N2而言可達108)。這樣巨大的壓縮比可以保證處于泵的前級部分潤滑裝置產生的油蒸汽難于返流至高真空一側，這就是分子增壓泵能夠獲得清潔真空的關鍵所在。本實施例中，高真空閥采用⑶Q200\OTQ300\OTQ400 ;分子增壓泵采用 MB200D的；旋片泵采用XZ-18。實施例2參見圖1，本石英玻璃真空脫羥爐，包括爐體和與爐體相連接的石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，所述新型石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置包括直聯旋片泵和與直聯旋片泵相連并且在低于200Pa的壓強下能夠啟動的分子增壓泵；還包括連接在分子增壓泵和直聯旋片泵之間的電磁壓差閥；還包括一端與分子增壓泵相連接的高真空閥，高真空閥的另一端用于連接爐體；當直聯旋片泵首先啟動并且將爐體內的壓強抽至200Pa以下時，分子本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種新型石英玻璃真空脫羥用抽真空裝置，其特征在于：包括直聯旋片泵和與直聯旋片泵相連并且在低于200Pa的壓強下能夠啟動的分子增壓泵；當直聯旋片泵首先啟動并且將爐體內的壓強抽至200Pa以下時，分子增壓泵開始啟動并將爐體內壓強抽至10?3Pa以下。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳士斌，周明強，徐同根，寧井班，
申請(專利權)人：江蘇太平洋石英股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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