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一種裝置，包括用于提供流體的流體供給口；連接至所述流體供給口以接收所述流體的入口；連接至所述入口的第一緩沖部；兩條或兩條以上與所述第一緩沖部連通的連接通路；與所述連接通路連通的第二緩沖部；及連接至所述第二緩沖部以將所述流體提供至基片上的出口...
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