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    下載一種激光薄膜元件用光學基板的清洗方法的技術資料

    文檔序號:8586512

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    本發明涉及一種激光薄膜元件用光學基板的清洗方法,具體步驟為:用蘸有丙酮的棉簽擦拭光學基板,直至在白熾燈照射下基板表面無肉眼可見的污染物為止;將擦拭后的基板置于第一槽堿性溶液,分別用不同頻率對基板先后進超聲清洗;將所得基板放置于第二槽中,用去...
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