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本發明提供了一種微波激發PVD鍍膜設備，包括殼體及靶材，還包括具有微波發射喇叭的微波發生器，該殼體具有密封的PVD腔體，PVD腔體內安裝有靶材載舟，靶材載舟具有用于放置靶材的容置槽，待鍍膜材料位于容置槽上方且其需鍍膜的一面與之相對；微波發生...
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