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本實用新型涉及一種用于晶圓表面保護膜撕除的空氣擾流控制系統，包括：信號板、空氣管路、電磁閥、數字顯示器和“L”型風向擾流器，信號板控制電磁閥開啟，空氣管路通過電磁閥和數字顯示器與“L”型風向擾流器相連。通過利用電磁閥控制工作時電磁閥打開氣體...該專利屬于海太半導體(無錫)有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過海太半導體(無錫)有限公司授權不得商用。
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