【技術實現步驟摘要】
用于晶圓表面保護膜撕除的空氣擾流控制系統
本技術涉及集成電路封裝
，尤其是涉及一種用于晶圓表面保護膜撕除的空氣擾流控制系統。
技術介紹
在傳統的晶圓保護膜撕除系統中主要是通過馬達驅動滾珠絲桿遠動強行將廢膜丟棄到垃圾箱內，廢膜在重力和空氣阻力的影響下隨機飄動，易黏貼在垃圾箱內壁，在接下來的連續撕膜丟棄中會造成廢膜堆積現象，廢膜在垃圾箱內的陳放數量只有30張，超過此數量后廢膜會超過垃圾箱高度，機器內手臂和工作臺的遠動會將溢出來的廢膜帶到產品上，對產品造成不良。
技術實現思路
本技術提供了一種用于晶圓表面保護膜撕除的空氣擾流控制系統，包括信號板、空氣管路、電磁閥、數字顯示器和“L”型風向擾流器，信號板控制電磁閥開啟，空氣管路通過電磁閥和數字顯示器與“L”型風向擾流器相連。進一步，作為優選方案，在電磁閥和數字顯示器之間安裝有空氣過濾器。為了改善保護膜的控制器及動作方式，增加風向擾流器，使得保護膜的撕除成功率達到99. 9%以上，解決了保護膜在撕除過程中不能丟棄到垃圾箱中，從而產生晶圓破損的現象，進而提高生產品質，品質事故減低為0，減輕作業人員的工作量，由每天平均清潔 19. 6次，減低到平均每天清潔3. 2次。附圖說明圖1是具體實施例框圖。具體實施方式以下結合附圖和實施例，對本技術的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本技術，但不用來限制本技術的范圍。如圖1所示，一種用于晶圓表面保護膜撕除的空氣擾流控制系統，其特征在于，包括信號板1、空氣管路2、電磁閥3、數字顯示器5和“L”型風向擾流器6，信號板I控制電磁閥3開啟，空氣管路2通過電磁閥3和數字顯...
【技術保護點】
一種用于晶圓表面保護膜撕除的空氣擾流控制系統，其特征在于，包括：信號板(1)、空氣管路(2)、電磁閥(3)、數字顯示器(5)和“L”型風向擾流器(6)，信號板(1)控制電磁閥(3)開啟，空氣管路(2)通過電磁閥(3)和數字顯示器(5)與“L”型風向擾流器(6)相連。
【技術特征摘要】
1.一種用于晶圓表面保護膜撕除的空氣擾流控制系統，其特征在于，包括信號板(I)、空氣管路(2)、電磁閥(3)、數字顯示器(5)和“L”型風向擾流器(6)，信號板⑴控制電磁閥⑶開啟，空氣管路⑵通過電...
【專利技術屬性】
技術研發人員：甘宗保，
申請(專利權)人：海太半導體無錫有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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