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本發(fā)明提供一種能夠防止氧化和熔損的探針卡用接觸端子。在檢查半導(dǎo)體器件的探針卡(10)的基座(11)中,在與半導(dǎo)體器件相對的面配置有多個伸縮探針(12),各伸縮探針(12)的柱塞(14)具有柱狀的接觸部(14c),接觸部(14c)具有柱狀的中...該專利屬于東京毅力科創(chuàng)株式會社所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過東京毅力科創(chuàng)株式會社授權(quán)不得商用。