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本發明提供一種氣體過濾處理結構、尾氣處理系統、MOCVD設備的尾氣處理方法、延長MOCVD設備的過濾器的使用壽命的方法，其中所述氣體過濾處理結構包括彎管，所述彎管的一端與上游反應腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，所述彎管的轉彎處設...該專利屬于光達光電設備科技（嘉興）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過光達光電設備科技（嘉興）有限公司授權不得商用。
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本發明提供一種氣體過濾處理結構、尾氣處理系統、MOCVD設備的尾氣處理方法、延長MOCVD設備的過濾器的使用壽命的方法，其中所述氣體過濾處理結構包括彎管，所述彎管的一端與上游反應腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，所述彎管的轉彎處設...