本發明專利技術提供一種氣體過濾處理結構、尾氣處理系統、MOCVD設備的尾氣處理方法、延長MOCVD設備的過濾器的使用壽命的方法，其中所述氣體過濾處理結構包括彎管，所述彎管的一端與上游反應腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，所述彎管的轉彎處設置有預收集過濾部件，所述預收集過濾部件沿氣體流動的方向設置，所述預收集過濾部件的一端與彎管相連接，另一端封閉，用于對氣體中的顆粒進行預收集過濾處理。本發明專利技術延長了MOCVD設備的過濾器和濾芯的使用壽命，減少了因為清潔和更換過濾器及濾芯的停機時間，提高了MOCVD設備的利用率。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及化學氣相沉積(CVD)
，特別涉及用于化學氣相沉積工藝的氣體過濾處理結構、尾氣處理系統、延長MOCVD設備的尾氣處理系統的過濾器的使用壽命的方法和MOCVD設備的尾氣處理方法。
技術介紹
MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種化學氣相外延沉積工藝。它以III族、II族元素的有機化合物和V、VI族元素的氫化物等作為晶體生長的源材料，以熱分解反應方式在石墨盤上進行沉積工藝，生長各種II1-V族、I1-VI族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。在化學氣相工藝過程中反應腔室中氣體需要經過過濾系統，將氣體中的顆粒等物質過濾，然后經過相應的化學處理過后才能向外部排放。具體地，請結合圖1所示的現有的MOCVD設備的尾氣處理系統的結構示意圖。彎管30的一端與上游反應腔室10相連接，另一端與下游過濾器20相連，所述彎管30與過濾器20共同構成了 MOCVD設備的過濾系統。來自上游反應腔室10的氣體經過彎管30進入過濾器20，經過過濾器20過濾后的氣體流向對應的化學處理部件。在實際中，發現現有的MOCVD設備的利用率(uptime)偏低，無法滿足應用的要求。
技術實現思路
本專利技術實施例解決的問題是提供了用于化學氣相沉積工藝的氣體過濾處理結構、尾氣處理系統、延長MOCVD設備的尾氣處理系統的過濾器的濾芯的使用壽命的方法和MOCVD設備的尾氣處理方法，減小了流向下游過濾器的濾芯中的顆粒，從而延長了過濾器以及濾芯的使用周期，減少了化學氣相沉積設備(包括MOCVD設備)因為清洗和或/更換過濾器而產生的停機時間，因而提高了化學氣相沉積設備的利用率。為了解決上述問題，本專利技術提供一種氣體過濾處理結構，包括彎管，所述彎管的一端與上游反應腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，所述彎管的轉彎處設置有預收集過濾部件，所述預收集過濾部件沿氣體流動的方向設置，所述預收集過濾部件的一端與彎管相連接，另一端封閉，用于對氣體中的顆粒進行預收集過濾處理。可選地，所述氣體過濾處理結構用于MOCVD設備的尾氣處理系統。可選地，所述彎管上游設置有冷卻結構，所述冷卻結構用于對來自反應腔室的氣體進行冷卻處理，所述預收集過濾部件對所述冷卻結構冷卻后的氣體進行預收集過濾處理。可選地，所述預收集過濾部件與所述彎管結合為一體或可以相互分離。可選地，所述預收集過濾部件采用一體成型的方式制作。可選地，所述預收集過濾部件為管狀。可選地，所述預收集過濾部件內還設置有過濾網或濾芯。可選地，所述過濾網或濾芯能夠與所述預處理過濾部件相互分離。可選地，所述預收集過濾部件的一端與所述彎管通過可拆卸聯接方式結合為一體，所述預收集過濾部件的另一端封閉或所述預收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得預收集過濾部件形成容納顆粒物質的空間。可選地，所述預收集過濾部件的一端與所述彎管結合為一體，所述預收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得所述預收集過濾部件形成容納顆粒物質的空間。相應地，本專利技術還提供一種用于化學氣相沉積工藝的尾氣處理系統，包括所述的氣體過濾處理結構。相應地，本專利技術還提供一種延長MOCVD設備的尾氣處理系統的過濾器的濾芯的使用壽命的方法，所述尾氣處理系統包括連接上游反應腔室和下游過濾器的彎管，所述過濾器具有濾芯，氣體自上游反應腔室流向下游過濾器時，對氣體進行預收集處理，將氣體中的顆粒物質去除。可選地，所述預收集處理通過在彎管處設置預收集管道進行，所述預收集管道的一端與所述彎管相連接，另一端封閉。可選地，在進行所述預收集處理前，還包括對所述氣體進行冷卻處理，使得氣體中的顆粒凝結。相應地，本專利技術還提供一種MOCVD設備的尾氣處理方法，所述方法利用彎管連接上游反應腔室和下游帶有濾芯的過濾器，尾氣在經過上游流向下游的過程中，在彎管處對尾氣進行預收集過濾處理，將尾氣中的顆粒去除。可選地，在對尾氣進行預收集過濾處理前，還包括對尾氣進行冷卻處理的步驟，使得尾氣中的顆粒凝結。與現有技術相比，本專利技術具有以下優點本專利技術提供的氣體過濾處理結構中設置的彎管相連接的預收集過濾部件，氣體自上游反應腔室流向下游的過濾器時，在設置于轉彎處的預收集過濾部件中進行預收集處理，氣體中的顆粒物質因為自身重力作用沉降于預收集過濾部件中，從而減少了對下游的過濾器及濾芯的沾污，延長了過濾器的使用壽命，減少了化學氣相沉積設備(包括MOCVD設備)因為清洗或更換過濾器的停機時間，因而提高了化學氣相沉積設備的利用率；進一步優化地，所述彎管的上游設置有冷卻結構，該冷卻結構能夠對氣體進行冷卻，有利于氣體中的顆粒凝結，從而預收集過濾部件能夠收集更多的顆粒，進一步減少流向下游的過濾器及濾芯的顆粒，進一步延長過濾器的使用壽命；進一步優化地，所述預收集過濾部件與所述彎管結合為一體,這樣整個氣體過濾處理結構更加簡化，并且預收集過濾部件可以與彎管采用一體成型的方式制作，不僅節約工藝步驟，而且也能夠防止外部對預收集過濾部件的污染，保證了預收集過濾部件內的真空度和潔凈度；并且當預收集過濾部件與彎管采用一體成型的方式制作的時候，可以在預收集過濾部件的另一端設置可拆卸端蓋，該端蓋能夠將預收集過濾部件封閉，并且該端蓋能夠從預收集過濾部件上移除，從而實現對預收集過濾部件的清潔維護；進一步優化地，所述預收集過濾部件與彎管可以相互分離，在預收集過濾部件使用一段時間后，可以采用干凈的預收集過濾部件的備件進行替換，操作簡單、方便，也不需要化學氣相沉積設備停機；進一步優化地，所述預收集過濾部件中還可以設置過濾網或濾芯，所述過濾網或濾芯用于對氣體進行進一步的過濾，獲得更好的過濾效果，進一步減少對下游過濾器和濾芯的沾污，延長下游過濾器和濾芯的使用壽命。附圖說明圖1是現有的MOCVD設備的尾氣處理系統的結構示意圖；圖2是本專利技術第一實施例的MOCVD設備的結構示意圖；圖3是本專利技術第二實施例的MOCVD設備的結構示意圖；圖4是本專利技術第三實施例的MOCVD設備的結構示意圖。具體實施例方式現有的MOCVD設備的利用率偏低，無法滿足應用的要求。經過專利技術人研究發現，由于需要頻繁停機對過濾器(主要是其中的濾芯)進行清潔維護，占用了 MOCVD設備原本用于工藝的時間。過濾器的結構通常較為復雜，其清潔維護的時間很長。但是基于現有的技術，無法對過濾器的結構進行優化以減小對其清潔維護的時間，因此專利技術人考慮延長現有的過濾器的使用壽命，減少對過濾器進行清潔維護的次數。如圖1所示，在現有的化學氣相沉積設備的尾氣處理系統中，上游反應腔室10與下游過濾器20通常通過彎管30相連接，反應腔室10的水平位置通常高于過濾器20的水平位置，尾氣自反應腔室10垂直向下流出，然后經過彎管30水平地流向下游過濾器20，過濾器20的濾芯對尾氣中的顆粒進行過濾處理。專利技術人考慮在彎管30的轉彎處設置預收集過濾部件，該預收集過濾部件應沿氣體流動方向設置，并且設置在彎管和氣體流動方向的下方，以滿足氣體流經轉彎處時其中的顆粒因為自身重力作用能夠沉降于預收集過濾部件中，從而減小流向下游過濾器30的顆粒的數目，減少對過濾器30及其濾芯的沾污。具體地，本專利技術提出的預收集過濾部件的一本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種氣體過濾處理結構，包括彎管，所述彎管的一端與上游反應腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，其特征在于，所述彎管的轉彎處設置有預收集過濾部件，所述預收集過濾部件沿氣體流動的方向設置，所述預收集過濾部件的一端與彎管相連接，另一端封閉，用于對氣體中的顆粒進行預收集過濾處理。
【技術特征摘要】
1.一種氣體過濾處理結構，包括彎管，所述彎管的一端與上游反應腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，其特征在于，所述彎管的轉彎處設置有預收集過濾部件，所述預收集過濾部件沿氣體流動的方向設置，所述預收集過濾部件的一端與彎管相連接，另一端封閉，用于對氣體中的顆粒進行預收集過濾處理。2.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述氣體過濾處理結構用于MOCVD設備的尾氣處理系統。3.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述彎管上游設置有冷卻結構，所述冷卻結構用于對來自反應腔室的氣體進行冷卻處理，所述預收集過濾部件對所述冷卻結構冷卻后的氣體進行預收集過濾處理。4.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件與所述彎管結合為一體或可以相互分離。5.如權利要求4所述的氣體過濾結構，其特征在于，所述預收集過濾部件采用一體成型的方式制作。6.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件為管狀。7.如權利要求5所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件內還設置有過濾網或濾芯。8.如權利要求7所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述過濾網或濾芯能夠與所述預處理過濾部件相互分離。9.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構,其特征在于,所述預收集過濾部件的一端與所述彎管通過可拆卸聯接方式結合為一體，所述預收集過濾部件的另一端封閉或所述預收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得預收集過濾部件...
【專利技術屬性】
技術研發人員：孫仁君，田益西，
申請(專利權)人：光達光電設備科技嘉興有限公司，
類型：發明
國別省市：
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