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在基板處理裝置（1）中，通過由二氧化碳溶解單元（62）控制二氧化碳向純水的溶解量，使除電液的電阻率成為目標電阻率。接著，通過除電液供給部（6）向基板（9）上供給電阻率比SPM液的電阻率大的除電液，使除電液充滿基板（9）的整個上表面（91），...
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