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一種基板處理系統，具備：處理單元，其對基板進行涂敷處理；基板送入單元，其被供給收容有涂敷處理前的所述基板的送入用容器，且回收空的所述送入用容器；基板送出單元，其回收收容有所述涂敷處理后的所述基板的送出用容器，且被供給空的所述送出用容器；輸送...
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