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    下載集成式大流量磷化氫減壓釋放裝置的技術(shù)資料

    文檔序號:86720

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    本實用新型涉及一種磷化氫氣體減壓釋放裝置,包括一加熱器;一進(jìn)口管接頭;一出口管接頭;以及一減壓器;其特征在于所述加熱器包括集成塊體;流道,設(shè)置于所述集成塊體內(nèi),一端通過所述進(jìn)口管接頭與高壓氣瓶密封連接,另一端通過所述出口管接頭與所述減壓器密...
    該專利屬于深圳達(dá)實智能股份有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過深圳達(dá)實智能股份有限公司授權(quán)不得商用。

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