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本發明提供一種薄膜晶體管陣列基板及其制作方法,方法包括:在襯底基板上依次形成柵線圖形,柵絕緣層,有源層圖形,源、漏電極及數據線圖形,鈍化層圖形;在形成有所述鈍化層的襯底基板上形成透明導電薄膜,由一次構圖工藝形成包括像素電極、公共電極的圖形,...該專利屬于京東方科技集團股份有限公司; 成都京東方光電科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過京東方科技集團股份有限公司; 成都京東方光電科技有限公司授權不得商用。