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    下載一種薄膜晶體管陣列基板及其制作方法的技術資料

    文檔序號:8704223

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    本發明提供一種薄膜晶體管陣列基板及其制作方法,方法包括:在襯底基板上依次形成柵線圖形,柵絕緣層,有源層圖形,源、漏電極及數據線圖形,鈍化層圖形;在形成有所述鈍化層的襯底基板上形成透明導電薄膜,由一次構圖工藝形成包括像素電極、公共電極的圖形,...
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