溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明涉及Y2O3陶瓷涂層制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種低壓等離子噴涂技術(shù)制備Y2O3陶瓷涂層的方法。所述制備黑色Y2O3陶瓷涂層的方法，包括如下步驟：步驟(1)，選擇純度大于99.95％的Y2O3粉末；步驟(2)，對待噴涂的基材表面進行預(yù)處理...該專利屬于中國科學(xué)院微電子研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國科學(xué)院微電子研究所授權(quán)不得商用。