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本發(fā)明在玻璃或金屬基片上沉積導(dǎo)電膜或半導(dǎo)體材料的設(shè)備，設(shè)備至少有一臺(tái)熱蒸發(fā)沉積裝置，該裝置有管狀加熱器，與管狀加熱器組合對(duì)管狀加熱器保溫隔熱的管狀保溫隔熱外罩，置于管狀加熱器內(nèi)的導(dǎo)電膜或半導(dǎo)體熱材料包裹于芯棒上成為熱蒸發(fā)的靶材管，靶材管與管...該專利屬于甘國(guó)工所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)甘國(guó)工授權(quán)不得商用。