在基片上沉積導(dǎo)電膜或半導(dǎo)體材料的設(shè)備和方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)在玻璃或金屬基片上沉積導(dǎo)電膜或半導(dǎo)體材料的設(shè)備，設(shè)備至少有一臺熱蒸發(fā)沉積裝置，該裝置有管狀加熱器，與管狀加熱器組合對管狀加熱器保溫隔熱的管狀保溫隔熱外罩，置于管狀加熱器內(nèi)的導(dǎo)電膜或半導(dǎo)體熱材料包裹于芯棒上成為熱蒸發(fā)的靶材管，靶材管與管狀加熱器間形成套管空間，在導(dǎo)管空間內(nèi)靶材管被管狀加熱器加熱蒸發(fā)，產(chǎn)生的蒸氣經(jīng)過套管空間流向管狀加熱器與管狀保溫隔熱外罩共同形成軸向的氣體流出的狹縫開口，沉積在傳動裝置連續(xù)傳送到狹縫開口附近的玻璃或金屬基片上，經(jīng)結(jié)晶形成導(dǎo)電膜或半導(dǎo)體膜層。本發(fā)明專利技術(shù)還公開了在玻璃或金屬基片上沉積導(dǎo)電膜或半導(dǎo)體材料的方法。本發(fā)明專利技術(shù)能實(shí)現(xiàn)連續(xù)和在大面積基片上沉積導(dǎo)電膜或半導(dǎo)體材料。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
在基片上沉積導(dǎo)電膜或半導(dǎo)體材料的設(shè)備，該設(shè)備至少有一臺熱蒸發(fā)沉積裝置，該裝置有管狀加熱器，與管狀加熱器組合對管狀加熱器保溫隔熱的管狀保溫隔熱外罩，導(dǎo)電膜材料或半導(dǎo)體材料呈固體管狀包覆于芯棒上成為熱蒸發(fā)的靶材管，靶材管外表面與管狀加熱器內(nèi)表面形成套管空間，在套管空間內(nèi)靶材管被加熱器加熱蒸發(fā)，產(chǎn)生的蒸氣在套管空間引導(dǎo)下流向管狀加熱器與管狀保溫隔熱外罩共同組成的軸向的氣體流出的狹縫開口、沉積在傳動裝置連續(xù)傳送到狹縫開口的玻璃或金屬基片上，經(jīng)結(jié)晶形成導(dǎo)電膜或半導(dǎo)體膜層。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：甘國工，
申請(專利權(quán))人：甘國工，
類型：發(fā)明
國別省市：