溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本發明涉及用于制造相變存儲器材料的碲前驅體。說明書中公開了用于制造相變存儲器材料的碲(Te)前驅體，特別是含碲(Te)前驅體、含Te硫屬元素化物相變材料。說明書中還公開了使用ALD、CVD或循環CVD法制造含Te硫屬元素化物相變材料的方法，...
該專利屬于氣體產品與化學公司所有，僅供學習研究參考，未經過氣體產品與化學公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。