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本發(fā)明涉及一種易于調節(jié)聚焦的、無色差的、保持偏振特性的、信噪比優(yōu)化的、且結構簡單的近垂直入射寬帶光譜儀。該寬帶光譜儀通過一對曲面反射元件和平面反射元件實現聚焦和調焦,包含至少一個偏振器,能夠高精度地測量樣品材料的光學常數、薄膜厚度和/或用于...該專利屬于北京智朗芯光科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過北京智朗芯光科技有限公司授權不得商用。
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