【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種近垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于，該近垂直入射寬帶偏振光譜儀包括光源、第一聚光單元、第一偏振器、第一曲面反射元件、第一平面反射元件、第二平面反射元件、第二曲面反射元件、第二偏振器、第二聚光單元和探測單元，其中：所述第一聚光單元用于將來自所述光源的光束會聚成平行光束；所述第一偏振器用于使所述平行光束變成偏振光束；所述第一曲面反射元件用于將所述偏振光束會聚并反射至所述第一平面反射元件；所述第一平面反射元件用于將來自所述第一曲面反射元件的偏振光束近似垂直地聚焦到樣品上；所述第二平面反射元件用于將從樣品上反射的光束反射至所述第二曲面反射元件；所述第二曲面反射元件用于接收來自所述第二平面反射元件的反射光束并將該反射光束會聚成平行光束；所述第二偏振器用于使來自所述第二曲面反射元件的平行光束變成偏振光束；所述第二聚光單元用于使來自所述第二偏振器的偏振光束會聚并入射到所述探測單元；所述第一平面反射元件和所述第一曲面反射元件具有相同的反射材料和鍍膜結構，并滿足光束的入射角相同或相差不超過5°且入射平面相互垂直的條件；所述第二平面反射元件和所述第二曲面反射元件具有相同的反射材料和鍍膜結構并滿足光束...
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：李國光，吳文鏡，趙江艷，劉濤，王林梓，馬鐵中，
申請(專利權)人：北京智朗芯光科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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