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    下載板狀物在夾具上的貼附剝離方法及貼附剝離裝置的技術資料

    文檔序號:888672

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    本發明公開了一種用于板狀物研磨時在夾具上的貼附剝離裝置及貼附剝離方法。采用夾具作為需要表面研磨的板狀物(例如超薄玻璃,特別適用于液晶板狀物)的載體,板狀物裝載到夾具上,通過碾壓輥碾壓板狀物,使板狀物吸附到夾具的吸附墊塊上;板狀物連同夾具作為...
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