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本實用新型涉及N2退火爐及快速退火前清洗機噴嘴的安裝、排布方式，提供一種玻璃基板清洗單元，包括與傳送入腔室內的玻璃基板相對設置的主清洗噴嘴和副清洗噴嘴，所述主清洗噴嘴排布于腔室的前段，副清洗噴嘴排布于腔室的后段，副清洗噴嘴的噴射出口方向與玻...該專利屬于彩虹（佛山）平板顯示有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過彩虹（佛山）平板顯示有限公司授權不得商用。
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