一種玻璃基板清洗單元制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)涉及N2退火爐及快速退火前清洗機(jī)噴嘴的安裝、排布方式，提供一種玻璃基板清洗單元，包括與傳送入腔室內(nèi)的玻璃基板相對(duì)設(shè)置的主清洗噴嘴和副清洗噴嘴，所述主清洗噴嘴排布于腔室的前段，副清洗噴嘴排布于腔室的后段，副清洗噴嘴的噴射出口方向與玻璃基板的傳送方向之間的夾角小于90度，本實(shí)用新型專利技術(shù)采用主清洗噴嘴和副清洗噴嘴相結(jié)合的噴嘴安裝排布方式，與現(xiàn)有僅僅包含與玻璃基板垂直的清洗噴嘴的清洗單元相比，通過在腔室后段增加設(shè)置副清洗噴嘴，增強(qiáng)了整個(gè)清洗單元對(duì)玻璃基板上較小顆粒的去除能力，阻止清洗掉的顆粒再次附著到玻璃基板上，同時(shí)使玻璃基板上的清洗廢水流向與玻璃基板的流向相反，減少了顆粒進(jìn)入相鄰腔室的幾率。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種玻璃基板清洗單元，其特征在于：包括與傳送入腔室（1）內(nèi)的玻璃基板（2）相對(duì)設(shè)置的主清洗噴嘴（3）和副清洗噴嘴（4），所述主清洗噴嘴（3）排布于腔室（1）的前段，副清洗噴嘴（4）排布于腔室（1）的后段，副清洗噴嘴（4）的噴射出口方向（5）與玻璃基板（2）的傳送方向（6）之間的夾角a小于90度。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：黃興成，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：彩虹佛山平板顯示有限公司，
類型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：