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本發(fā)明涉及一種包含基底(S)和層布置的反射鏡(la;la’;lb;lb’;lc;lc’)，其中將所述層布置設(shè)計(jì)為使得以至少在0°和30°之間的入射角入射于反射鏡(la;la’;lb;lb’;lc;lc’)上的、波長(zhǎng)小于250nm的光(32)...該專利屬于卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司授權(quán)不得商用。