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描述了一種光刻工藝中的數據準備的方法。該方法包括在圖形數據庫系統GDS網格中提供集成電路(IC)布局設計，將IC布局設計GDS網格轉換成第一曝光網格，對第一曝光網格應用無方向性抖動技術，在對第一曝光網格應用抖動的同時，對第一曝光網格應用網格...
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