本發(fā)明提供一種曝光方法及曝光裝置。在曝光方法中，當(dāng)一邊向箭頭A方向輸送被曝光體(8)，一邊使用光掩模(11)的第一掩模圖案組(12)進(jìn)行的對(duì)被曝光體(8)的第一曝光區(qū)域(9)的曝光結(jié)束時(shí)，與被曝光體的輸送速度同步地使光掩模(11)移動(dòng)而...

本發(fā)明是對(duì)涂敷了正性的感光材料的基板進(jìn)行曝光的光掩模（３），至少以規(guī)定的排列間距在透明基板上形成了如下掩模圖案群：第１掩模圖案群（１６），其以與基板上的高度不同的兩種凸起狀圖案形成部對(duì)應(yīng)的間隔具有與凸起狀圖案的橫截面積大致相等的面積的第...

本發(fā)明提供一種曝光裝置，其為在一個(gè)方向上搬送ＴＦＴ用基板（８），隔著光掩膜（３）對(duì)ＴＦＴ用基板（８）間歇地照射光源光（２４），對(duì)應(yīng)于形成于所述光掩膜（３）的多個(gè)掩膜圖案在所述ＴＦＴ用基板（８）上形成曝光圖案的曝光裝置，所述光掩膜（３）的...

本發(fā)明涉及一種曝光裝置，其具備：輸送機(jī)構(gòu)（１），其上表面載置被曝光體（７）并將其沿一定方向輸送；空間光調(diào)制機(jī)構(gòu)（３），其將由電光學(xué)結(jié)晶材料構(gòu)成的多個(gè)光調(diào)制元件（９）沿與被曝光體（７）的輸送方向交差的方向按規(guī)定的排列間距至少排列成一列；光...

本發(fā)明提供一種激光曝光裝置，其具備：第一蠅眼透鏡（２），其擴(kuò)大激光的截面形狀；第一光程差調(diào)整構(gòu)件（３），其配置于第一蠅眼透鏡（２）的激光的入射側(cè)且使向第一蠅眼透鏡（２）的各聚光透鏡（２ａ）分別入射的激光產(chǎn)生相位差；會(huì)聚透鏡（４），其將從...

本發(fā)明涉及一種液晶顯示裝置的制造方法，其在對(duì)在ＴＦＴ基板和相對(duì)電極基板之間以矩陣狀形成多個(gè)像素并密封有液晶的液晶顯示用基板的所述各像素施加了電場(chǎng)的狀態(tài)，對(duì)所述液晶顯示用基板照射規(guī)定波長(zhǎng)的光，使得所述液晶的分子定向于規(guī)定方向，包括：將所述...

本發(fā)明的曝光裝置，使從曝光光學(xué)系統(tǒng)照射的光束在與被曝光體的移動(dòng)方向相正交的方向上相對(duì)地掃描，在該被曝光體上以規(guī)定的間距對(duì)功能圖案進(jìn)行曝光，其特征在于，包括：對(duì)預(yù)先形成于所述被曝光體上的、成為曝光位置基準(zhǔn)的基準(zhǔn)功能圖案列進(jìn)行拍攝的拍攝裝置...

本發(fā)明提供一種曝光裝置及被曝光體，承載在設(shè)定于表面的圖案區(qū)域的一個(gè)邊緣的規(guī)定位置形成有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的彩色濾光基板６，并通過輸送裝置１，以形成有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的一側(cè)為最前側(cè)，輸送該彩色濾光基板６，通過拍攝裝置３拍攝對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和像素，通過控制裝置４，根...

本發(fā)明的曝光裝置（１），使從曝光光學(xué)系統(tǒng)（３）照射的光束在與玻璃基板（８）的移動(dòng)方向（箭頭Ａ）相正交的方向上相對(duì)地掃描，在玻璃基板（８）上以規(guī)定的間距對(duì)功能圖案進(jìn)行曝光，其中包括：對(duì)預(yù)先形成于玻璃基板（８）的黑色點(diǎn)陣的像素進(jìn)行拍攝的拍攝...

本發(fā)明提供一種曝光裝置，利用拍攝裝置３在同一視場(chǎng)內(nèi)分別捕捉并拍攝形成在濾色基板６上的基板側(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和形成在光掩膜７上的掩膜側(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，基于該拍攝到的基板側(cè)和掩膜側(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的各圖像，相對(duì)移動(dòng)載物臺(tái)１和掩膜載物臺(tái)２，對(duì)濾色基板６與光掩膜７進(jìn)...

本發(fā)明提供一種曝光裝置，包括：承載并搬運(yùn)濾色基板１的載物臺(tái)５；以與濾色基板１鄰接相對(duì)置的方式保持光掩膜１４的掩膜載物臺(tái)６；在曝光過程中持續(xù)點(diǎn)亮并對(duì)光掩膜１４照射曝光用光的光源７；使照射在光掩膜１４上的曝光用光的亮度分布均勻的光積分儀８；...

本發(fā)明是由透明基體材料２和形成在該透明基體材料２的一個(gè)面上的遮光膜３構(gòu)成的光掩模１，該光掩模１設(shè)置了多個(gè)掩模圖案４和觀察孔５，所述多個(gè)掩模圖案４單向排列形成在上述遮光膜３上，并使曝光用光透過，所述觀察孔５形成在上述遮光膜３上，并且形成在...

本發(fā)明提供了一種液體材料供給裝置，該裝置包括：液體材料吐出部（７），該液體材料吐出部（７）具有分別填充有不同液體材料的多個(gè)點(diǎn)膠機(jī)（２６），并支撐于支撐體；壓力施加機(jī)構(gòu)，用于給各點(diǎn)膠機(jī)（２６）內(nèi)的液體材料施加氣壓，使從點(diǎn)膠機(jī)（２６）的前端...

本發(fā)明提供一種在ＴＦＴ基板的規(guī)定位置上高精度地形成濾色器或者黑矩陣的曝光圖案的液晶顯示裝置用基板的制造方法。為此，包括：在ＴＦＴ基板（６）上涂敷濾色器或者黑矩陣的感光材料的步驟；由搬運(yùn)單元（３）邊以規(guī)定速度搬運(yùn)涂敷了上述感光材料的ＴＦＴ...

本發(fā)明提供一種滴涂器，具有：將用于修正濾色器基板的缺陷部的彩色紫外線硬化樹脂（４）予以收容的容器（１）；安裝在該容器（１）的頂端、使所述彩色紫外線硬化樹脂（４）排出到所述缺陷部上的排出針（２）；以及將正壓賦予所述容器（１）內(nèi)的彩色紫外線...