本實用新型提供一種能夠提高晶片的平坦度的研磨頭、研磨裝置以及研磨方法。取得示出晶片的位置與高度的關系的高度分布數據，且基于高度分布數據而控制在頭主體部的凹部的底面設置的多個壓電元件。多個壓電元件按照將底面分割為多個而成的區域即分割區域而...

超聲波距離測定裝置以及超聲波距離測定方法能夠高精度地測定距離。采用周期固定，且在作為循環數為10～15循環左右的第1循環數的矩形波之后頻率為0的發送信號來發送超聲波，接收被對象物反射的超聲波。然后，基于通過傳感器接收的超聲波的接收波形、...

本實用新型提供一種能夠提高吞吐量并能夠小型化的晶圓的研磨裝置。頭清洗部(7)設置在晶圓交接區域(5)的下方，具備：從裝載/卸載區域(4)向晶圓交接區域(5)搬運晶圓(W)的、在裝載/卸載區域(4)與晶圓交接區域(5)之間進行往復移動的裝...

本發明提供一種能夠有效地反射激光并抑制激光的能量的吸收，從而提高耐久性的投影掩模。本發明的投影掩模配置在被照射激光的投影透鏡，并使激光透過，具備：透過層，其供激光透過；反射膜，其折射率比透過層大；金屬膜，其對激光進行遮光；以及保護膜，其...

本實用新型提供一種能夠使晶片的周緣部不被過度研磨的研磨頭以及研磨裝置。在背襯件的下方設置有在中空部收容晶片的大致圓環形狀的晶片保持部，在無負載狀態下晶片保持部的厚度為晶片的厚度以上。晶片保持部具有由不會彈性變形的材料形成且厚度為晶片的厚...

本發明為包括：LED陣列基板(1)，其為將放射紫外或藍色波段的光的多個LED(4)成矩陣狀地配置于布線基板(5)；多個熒光發光層(2)，其在三原色對應的多個所述LED(4)上，均勻分散地具有熒光色素(14)和選擇性地透過預定波段的光的調...

接近式曝光裝置具備：非曝光用光照明單元(100)，其配置于比平面反射鏡(68)更靠燈單元(60)側，使包含第2波長區域的非曝光用光與從燈單元(60)出射的光的光軸同軸地照射，包含第2波長區域的非曝光用光與使工件(W)的感光材料感光的包含...

本發明具備：LED陣列基板(1)，它是將放出紫外或藍色波段的光的多個LED(4)呈矩陣狀配置在布線基板(5)上而成；多個熒光發光層(2)，它們以使熒光色素均勻地分散到感光樹脂中而具有的熒光抗蝕層的島形圖案的形式形成于對應三原色的多個所述...

本發明包含如下工序：在對基片(10)的一方的表面上生成有LED(11)的LED基板(1)與包含電路層(22)的線路基板(2)進行貼合時，LED基板在LED(11)的上表面具有LED電極和粘接面，線路基板具有包含彈性支承構件、線路基板電極...

一種基板保持裝置，能夠將基板按壓于基準面以抑制基板的振動。夾持部能夠在與基板抵接的抵接位置、和不與基板抵接的退避位置之間沿大致水平方向移動，并具有第一單元和第二單元，第一單元具有在抵接位置與基板抵接的第一前端面，第二單元設置為能夠在第一...

提供一種防塵薄膜組件框架把持裝置及防塵薄膜組件框架把持方法，能夠對防塵薄膜組件可靠地粘貼于掩模的情況進行確認。使用設置于框體(10)的防塵薄膜組件把持部(20)來把持防塵薄膜組件框架(101)，使防塵薄膜組件的粘接構件與掩模抵接。將計測...

本發明提供一種能夠提高晶片的平坦度的研磨頭、研磨裝置以及研磨方法。取得示出晶片的位置與高度的關系的高度分布數據，且基于高度分布數據而控制在頭主體部的凹部的底面設置的多個壓電元件。多個壓電元件按照將底面分割為多個而成的區域即分割區域而設置。

本發明提供一種能夠使晶片的周緣部不被過度研磨的研磨頭以及研磨裝置。在背襯件的下方設置有在中空部收容晶片的大致圓環形狀的晶片保持部，在無負載狀態下晶片保持部的厚度為晶片的厚度以上。晶片保持部具有由不會彈性變形的材料形成且厚度為晶片的厚度以...

本發明是在矩陣狀地配置有多個LED(4)的LED陣列基板(1)上包圍所述LED(4)地設置有遮光壁(3)的LED顯示面板的制造方法，所述遮光壁(3)是在通過光刻法對透明的感光性樹脂(16)進行曝光及顯影而形成成為所述遮光壁(3)的基材的...

本發明是利用激光剝離的加工方法，對包含藍寶石基板(11)、以及形成在藍寶石基板的一個面的微型LED(12)的層疊體(1)，從藍寶石基板的另一個面照射通過脈沖振蕩產生的激光，使各個微型LED從藍寶石基板剝離，該加工方法執行如下工序：通過來...

本發明提供一種曝光裝置及曝光方法，該曝光裝置將對形成于被曝光基板的已有基準圖案進行拍攝后的基準圖案數據與光掩模的基準位置部數據進行比較，檢測寬度方向上光掩模的偏移量，計算出光掩模的暫定移動量，預先存儲被曝光基板或光掩模的偏轉狀態變化的裝...

本發明是用于將微型LED(3)裝配到配線基板(4)的基板連接結構，在與上述微型LED(3)的觸點(5)對應地設置于上述配線基板(4)的電極焊盤(6)上，具備使上述觸點(5)與上述電極焊盤(6)電連接的導電性的彈性突起部(7)，上述彈性突...

本發明提供一種圖案曝光方法及圖案曝光裝置，該圖案曝光方法中，通過抑制無遮罩曝光的曝光圖像數據中平面角部上的邊緣誤差，以良好的精度形成被微細化的圖案。在曝光面上劃分光束的最小曝光單位，以最小曝光單位的集合特定曝光圖像數據中校正所需要的光束...

本發明是形成于藍寶石基板(7)的多個LED芯片(6)的檢查方法，其進行如下步驟：第1步驟，以使上述藍寶石基板(7)上的多個上述LED芯片(6)的觸點(10)與對應于該觸點(10)而設置于檢查用配線基板(11)的多個電極焊盤(12)對準的...

提供一種激光照射裝置、及激光照射方法，在對基板上的指定的區域作激光退火的情況時，能夠抑制激光的照射所需要的能量。本發明的一實施形態之中的激光照射裝置是具備產生激光的光源、及激光頭，包含柱面鏡，而柱面鏡接受激光，在平行于基板的移動方向的方...