一種多線切割機(jī)制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種多線切割機(jī)，屬于半導(dǎo)體材料切割技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型專利技術(shù)的技術(shù)方案是，工作臺(2)和切割裝置(4)設(shè)置在背板(1)上，切割裝置(4)位于工作臺(2)下方；切割裝置(4)所包括的第一繞線輥(5)、第二繞線輥(6)、第三繞線輥(7)垂直于背板(1)，并且形成倒三角形狀，中間形成獨(dú)立的空間(8)；第一繞線輥(5)、第二繞線輥(6)、第三繞線輥(7)外側(cè)纏有多圈切割線(10)，第一繞線輥(5)與第二繞線輥(6)之間的多圈切割線(10)所構(gòu)成的平面為切割面(12)。該多線切割機(jī)避免切割過程中砂粒和切割料粉末落入機(jī)器軸承，延長機(jī)器的使用壽命，并且能夠避免砂粒附著在切割線上，使得切割流暢平滑，提高切割質(zhì)量。（*該技術(shù)在2023年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【專利摘要】本技術(shù)公開了一種多線切割機(jī)，屬于半導(dǎo)體材料切割
。本技術(shù)的技術(shù)方案是，工作臺(2)和切割裝置(4)設(shè)置在背板(1)上，切割裝置(4)位于工作臺(2)下方；切割裝置(4)所包括的第一繞線輥(5)、第二繞線輥(6)、第三繞線輥(7)垂直于背板(1)，并且形成倒三角形狀，中間形成獨(dú)立的空間(8)；第一繞線輥(5)、第二繞線輥(6)、第三繞線輥(7)外側(cè)纏有多圈切割線(10)，第一繞線輥(5)與第二繞線輥(6)之間的多圈切割線(10)所構(gòu)成的平面為切割面(12)。該多線切割機(jī)避免切割過程中砂粒和切割料粉末落入機(jī)器軸承，延長機(jī)器的使用壽命，并且能夠避免砂粒附著在切割線上，使得切割流暢平滑，提高切割質(zhì)量。【專利說明】一種多線切割機(jī)
本技術(shù)涉及材料切割領(lǐng)域，特別是指一種多線切割機(jī)。
技術(shù)介紹
多線切割機(jī)是用來切割半導(dǎo)體、硅片等硬脆材料的一種機(jī)器，它的原理是通過高速運(yùn)動的鋼線帶動附著在切割線上的切割料對半導(dǎo)體等硬脆材料進(jìn)行摩擦，從而達(dá)到切割效果。現(xiàn)有技術(shù)(參見圖4) 一般是工作臺2在切割裝置的下方，多條鋼線在繞在切割裝置的繞線輥上，在兩個(gè)繞線輥之間形成一張由多條鋼線組成的切割面12，工作臺2位于切割面12的下方，被切割工件9置于工作臺2上，通過工作臺2的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給，可將被切割工件一次同時(shí)切割為數(shù)十片。切割線在切割物體，切割到一定程度時(shí)，鋼線進(jìn)入被切割工件體內(nèi)會有大量切割形成的砂粒和切割料附著在切割線上被帶出來，鋼線上若帶有砂粒，在走線過程中砂粒可能會進(jìn)入軸承中損壞軸承等機(jī)械零件，也會對繞線棍及導(dǎo)輪造成極大的摩擦，影響壽命，并且鋼線上砂粒的存在會引起振動影響走線的流暢性，鋼線若不能流暢平滑的切割，直接影響切割質(zhì)量，對產(chǎn)品有較大的影響。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
有鑒于此，本技術(shù)的目的在于提出一種多線切割機(jī)，能夠減少切割碎粒給機(jī)器軸承帶來的損壞，提高切割質(zhì)量。基于上述目的本技術(shù)提供的多線切割機(jī)，包括工作臺、切割裝置，所述工作臺和所述切割裝置設(shè)置于背板上，所述切割裝置位于所述工作臺的下方；所述切割裝置包括第一繞線輥、第二繞線輥、第三繞線輥，所述第一繞線輥和所述第二繞線輥和所述第三繞線輥垂直于所述背板，并且形成倒三角形狀，所述第一繞線輥與所述第二繞線輥與所述第三繞線輥中間形成的獨(dú)立空間；所述切第一繞線輥、第二繞線輥、第三繞線輥外側(cè)纏有多圈切割線，所述第一繞線輥與所述第二繞線輥之間的多圈切割線所構(gòu)成的平面為切割面。可選的，所述多線切割機(jī)的切割裝置空間內(nèi)設(shè)有收料裝置。可選的，所述多線切割機(jī)的收料裝置開口向上，開口于所述切割面相對。可選的，所述多線切割機(jī)的收料裝置可與所述切割裝置分離。可選的，所述多線切割機(jī)的工作臺的底面用于固定工件，所述底面與所述工件之間通過粘連方式固定。可選的，所述多線切割機(jī)的底面與所述工件之間粘連固定所用膠為一種厭氧膠。可選的，所述多線切割機(jī)的工作臺能夠上下移動，移動方向與背板平行；所述切割裝置固定于背板上。可選的，所述多線切割機(jī)的所述第三繞線輥為主繞線輥，直接與驅(qū)動裝置相連；所述第一繞線輥、所述第二繞線輥為輔繞線輥，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)由切割線帶動轉(zhuǎn)動。可選的，所述多線切割機(jī)的所述第一繞線輥、所述第二繞線輥、所述第三繞線輥表面設(shè)有多個(gè)用于纏繞切割線的凹槽。從上面所述可以看出，本技術(shù)提供的多線切割機(jī)，使用倒立式切割，把傳統(tǒng)切割方式的繞線輥和工作臺位置倒置，切割裝置置于工作臺下方，切割裝置包括的第一繞線輥、第二繞線輥、第三繞線輥之間所形成的區(qū)域內(nèi)設(shè)有收料裝置。在對工件進(jìn)行切割時(shí)，由于摩擦切割所產(chǎn)生的砂粒以及附著在切割線上被帶出來的切割材料，在重力作用下，落入收料裝置內(nèi)。這樣能避免切割時(shí)產(chǎn)生的細(xì)碎物體對多線切割機(jī)軸承的破壞，延長機(jī)器的使用壽命，并且能夠避免砂粒附著在切割線上，使得切割流暢平滑，提高切割質(zhì)量。【專利附圖】【附圖說明】圖1為本技術(shù)實(shí)施例多線切割機(jī)整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本技術(shù)實(shí)施例多線切割機(jī)整體結(jié)構(gòu)正面示意圖；圖3為本技術(shù)實(shí)施例多線切割機(jī)工作原理示意圖；圖4為現(xiàn)有技術(shù)工作原理示意圖。【具體實(shí)施方式】為使本技術(shù)的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對本技術(shù)進(jìn)一步詳細(xì)說明。圖1、圖2示出了本技術(shù)多線切割機(jī)整體結(jié)構(gòu)，包括工作臺2、切割裝置4，工作臺2和切割裝置4設(shè)置于背板I上，切割裝置4位于工作臺2的下方；所述切割裝置4包括第一繞線輥5、第二繞線輥6、第三繞線輥7，第一繞線輥5、第二繞線輥6、第三繞線輥7垂直于背板I，形成倒三角形狀，第一繞線輥5與第二繞線輥6與第三繞線輥7所中間形成的空間8 ;所述切第一繞線輥5、第二繞線輥6、第三繞線輥7外側(cè)纏有多圈切割線10 (參見圖3)，第一繞線輥5與第二繞線輥6之間的多圈切割線10所構(gòu)成的平面為切割面12 ;所述空間8內(nèi)設(shè)有收料裝置11 (參見圖3)。圖3示出了本技術(shù)多線切割機(jī)的工作原理示意圖，工作臺底面3與切割面12相對，底面3用于固定工件9，第一繞線輥5、第二繞線輥6、第三繞線輥7通過轉(zhuǎn)動帶動多條切割線10，工作臺2通過上下移動帶動工件9，工件9與切割面12通過觸碰摩擦，實(shí)現(xiàn)對工件9的切割。參見圖1、圖2，圖3，作為本技術(shù)多線切割機(jī)的一個(gè)實(shí)施例，工作臺2可以向上或向下移動調(diào)節(jié)高度，工作臺2的移動方向與背板I平行，工作臺2的位置是通過伺服電機(jī)和絲杠進(jìn)行控制調(diào)節(jié)，切割裝置4固定在背板I上。參見圖3，作為本技術(shù)多線切割機(jī)的一個(gè)實(shí)施例，收料裝置11置于空間8內(nèi)部，開口向上，開口與切割面12相對。切割時(shí)產(chǎn)生的砂粒和掉下來的切割材料由于重力原因，落入收料裝置11內(nèi)。這樣能避免切割時(shí)產(chǎn)生的細(xì)碎物體對多線切割機(jī)軸承的破壞，延長機(jī)器的使用壽命，并且能夠避免砂粒附著在切割線上，使得切割流暢平滑，提高切割質(zhì)量。參見圖3，作為本技術(shù)多線切割機(jī)的一個(gè)實(shí)施例，收料裝置(11)可以與所述切割裝置(4)分離。收料裝置11在收集一定量的碎粒后，可以從空間8內(nèi)卸下收料裝置11，進(jìn)行清理。參見圖3，作為本技術(shù)多線切割機(jī)的一個(gè)實(shí)施例，工作臺底面3與工件9之間通過粘連方式固定。參見圖3，作為本技術(shù)多線切割機(jī)的一個(gè)實(shí)施例，底面與工件之間的通過一種厭氧膠粘連固定，厭氧膠不會破壞工件9，切割好的工件在切割完畢后，可以直接從工作臺底面3取下，厭氧膠在每次使用后都需要更換。參見圖3，作為本技術(shù)多線切割機(jī)的一個(gè)實(shí)施例，第三繞線輥7為主繞線輥，直接與驅(qū)動裝置相連，第三繞線輥7轉(zhuǎn)動起來帶動切割線10運(yùn)轉(zhuǎn)，切割線10通過運(yùn)轉(zhuǎn)同時(shí)帶動第一繞線輥5和第二繞線輥6轉(zhuǎn)動。第一繞線輥5、第二繞線輥6、第三繞線輥7，轉(zhuǎn)動方向是一致的，通過轉(zhuǎn)動帶動切割線10。第一繞線輥5、第二繞線輥6、第三繞線輥7的表面設(shè)有用于纏繞切割線10的凹槽，通過凹槽纏繞切割線使得切割線10與第一繞線輥5、第二繞線輥6、第三繞線輥7之間的切向相對位置固定，這樣的設(shè)置使得在第一繞線輥5、第二繞線輥6、第三繞線輥7帶動切割線轉(zhuǎn)動時(shí)，切割線10不會在繞線輥上偏移。所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:以上所述僅為本技術(shù)的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本技術(shù)，凡在本技術(shù)的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：章博，
申請(專利權(quán))人：章博，
類型：實(shí)用新型
國別省市：