本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種排風(fēng)裝置，包括頂部轉(zhuǎn)環(huán)和底部固定環(huán)；其中，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)為環(huán)狀體，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁內(nèi)側(cè)延伸的第一轉(zhuǎn)動(dòng)邊，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)外側(cè)壁上設(shè)有至少一個(gè)供氣流通過(guò)的排風(fēng)口；所述底部固定環(huán)為環(huán)狀體，且所述底部固定環(huán)上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁外側(cè)延伸的第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊；所述底部固定環(huán)外側(cè)壁與所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)有預(yù)設(shè)間距的空隙供氣流通過(guò)，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)相對(duì)于底部固定環(huán)可水平旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型專利技術(shù)通過(guò)在頂部轉(zhuǎn)環(huán)上設(shè)有排風(fēng)口，且頂部轉(zhuǎn)環(huán)相對(duì)于底部固定環(huán)可水平旋轉(zhuǎn)，使頂部轉(zhuǎn)環(huán)上的排風(fēng)口可轉(zhuǎn)動(dòng)到任意位置，便于排風(fēng)管道的布置，可靈活連接不同位置的排風(fēng)管道，增強(qiáng)排風(fēng)裝置安裝的適用性。（*該技術(shù)在2024年保護(hù)過(guò)期，可自由使用*）
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
排風(fēng)裝置
本技術(shù)涉及一種半導(dǎo)體熱處理工藝設(shè)備，具體地說(shuō)，涉及一種排風(fēng)裝置。
技術(shù)介紹
在半導(dǎo)體晶圓的熱處理工藝中，快速熱處理(RTP)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工藝之一，在工藝過(guò)程中可以快速升至高溫，工作溫度范圍涵蓋500?1100°C，在工藝結(jié)束后，經(jīng)過(guò)高溫退火處理后的晶圓片必須先進(jìn)行降溫，到達(dá)常溫后，傳回載片臺(tái)上。為了使熱處理裝置按工藝要求快速降溫至目標(biāo)溫度，要求爐體具備快速降溫結(jié)構(gòu)，現(xiàn)有技術(shù)中，為實(shí)現(xiàn)這一功能通常向爐體內(nèi)通入常溫空氣，用常溫空氣作為冷卻的媒介?，F(xiàn)有的排風(fēng)裝置的排風(fēng)口固定在排風(fēng)裝置上，因排風(fēng)裝置的排風(fēng)口與排風(fēng)管道固定連接，所以，排風(fēng)管道的安裝布置就受到排風(fēng)口位置的影響，因而排風(fēng)管道的安裝布置的局限性大大增加。此外，對(duì)于不同型號(hào)的爐體設(shè)備，需采用不同位置的排風(fēng)口安裝在爐體設(shè)備上，因此現(xiàn)有的排風(fēng)裝置也不能廣泛適用于不同型號(hào)的爐體設(shè)備。因此，加強(qiáng)排風(fēng)裝置的廣泛適用性能成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問(wèn)題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種排風(fēng)裝置，使排風(fēng)裝置上的排風(fēng)口可靈活連接不同位置的排風(fēng)管道，增強(qiáng)排風(fēng)裝置安裝的適用性。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本技術(shù)提供了一種排風(fēng)裝置，包括頂部轉(zhuǎn)環(huán)和底部固定環(huán)；其中，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)為環(huán)狀體，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁內(nèi)側(cè)延伸的第一轉(zhuǎn)動(dòng)邊，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)外側(cè)壁上設(shè)有至少一個(gè)供氣流通過(guò)的排風(fēng)口 ；所述底部固定環(huán)為環(huán)狀體，且所述底部固定環(huán)外側(cè)壁與所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)有預(yù)設(shè)間距的空隙供氣流通過(guò)，所述底部固定環(huán)上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁外側(cè)延伸的第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)相對(duì)于底部固定環(huán)可水平旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選的，所述底部固定環(huán)下側(cè)設(shè)有向環(huán)體內(nèi)側(cè)或/和外側(cè)延伸的固定邊，所述固定邊上設(shè)有固定裝置用于固定所述底部固定環(huán)。優(yōu)選的，所述固定裝置包括螺栓、螺母，在所述固定邊上設(shè)有若干數(shù)量的通孔，所述通孔的孔徑與螺栓的外徑配合。優(yōu)選的，所述排風(fēng)口為多個(gè)，且沿所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)外側(cè)壁水平方向均勻分布。優(yōu)選的，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)邊及第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊的水平截面呈圓弧形。優(yōu)選的，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊的邊緣設(shè)有向下的彎折邊。優(yōu)選的，所述排風(fēng)口連接排風(fēng)管道，所述排風(fēng)管道與降溫裝置連接。優(yōu)選的，所述降溫裝置包括依次連接的閥門、熱交換器及風(fēng)機(jī)，所述閥門控制所述熱交換器或/和所述風(fēng)機(jī)。優(yōu)選的，所述排風(fēng)口上設(shè)有可拆卸的排風(fēng)口蓋。優(yōu)選的，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)及所述底部固定環(huán)為不銹鋼材料。與現(xiàn)有的方案相比，本技術(shù)通過(guò)在頂部轉(zhuǎn)環(huán)上設(shè)有排風(fēng)口，且頂部轉(zhuǎn)環(huán)相對(duì)于底部固定環(huán)可水平旋轉(zhuǎn)，使頂部轉(zhuǎn)環(huán)上的排風(fēng)口可轉(zhuǎn)動(dòng)到任意位置，便于排風(fēng)管道的布置，可靈活連接不同位置的排風(fēng)管道，增強(qiáng)排風(fēng)裝置安裝的適用性?！靖綀D說(shuō)明】為了更清楚地說(shuō)明本技術(shù)實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本技術(shù)的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本技術(shù)排風(fēng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本技術(shù)排風(fēng)裝置的俯視圖；圖3為本技術(shù)底部固定環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本技術(shù)底部固定環(huán)的另一結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本技術(shù)頂部轉(zhuǎn)環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本技術(shù)頂部轉(zhuǎn)環(huán)的另一結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明如下:100、頂部轉(zhuǎn)環(huán)；101、第一轉(zhuǎn)動(dòng)邊；102、排風(fēng)口 ；200、底部固定環(huán)；201、第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊;202、固定邊;203、通孔;204、彎折邊;205、排風(fēng)口蓋。【具體實(shí)施方式】以下將配合圖式及實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本技術(shù)的實(shí)施方式，藉此對(duì)本技術(shù)如何應(yīng)用技術(shù)手段來(lái)解決技術(shù)問(wèn)題并達(dá)成技術(shù)功效的實(shí)現(xiàn)過(guò)程能充分理解并據(jù)以實(shí)施。如圖1至圖6所示，本技術(shù)提供了一種排風(fēng)裝置，包括頂部轉(zhuǎn)環(huán)100和底部固定環(huán)200 ;其中，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)100為環(huán)狀體，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)100上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁內(nèi)側(cè)延伸的第一轉(zhuǎn)動(dòng)邊101，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)11外側(cè)壁上設(shè)有至少一個(gè)供氣流通過(guò)的排風(fēng)口 102 ;所述底部固定環(huán)200為環(huán)狀體，且所述底部固定環(huán)200外側(cè)壁與所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)100內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)有預(yù)設(shè)間距的空隙供氣流通過(guò)，所述底部固定環(huán)200上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁外側(cè)延伸的第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊201，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)100相對(duì)于底部固定環(huán)200可水平旋轉(zhuǎn)。從爐體出來(lái)的經(jīng)過(guò)熱交換的氣流從排風(fēng)裝置的兩環(huán)之間的空隙進(jìn)入，然后經(jīng)過(guò)排風(fēng)口 102進(jìn)入排風(fēng)管道；頂部轉(zhuǎn)環(huán)100和底部固定環(huán)200在排風(fēng)裝置的底部形成一個(gè)入口，與排風(fēng)口 102相通。其中，所述底部固定環(huán)200下側(cè)設(shè)有向環(huán)體內(nèi)側(cè)或/和外側(cè)延伸的固定邊202，所述固定邊202上設(shè)有固定裝置用于固定所述底部固定環(huán)200。所述固定裝置包括螺栓、螺母，在所述固定邊上設(shè)有若干數(shù)量的通孔203，所述通孔203的孔徑與螺栓的外徑配合。本技術(shù)通過(guò)固定底部固定環(huán)200，使頂部轉(zhuǎn)環(huán)100相對(duì)于底部固定環(huán)200可水平旋轉(zhuǎn)，使頂部轉(zhuǎn)環(huán)100上的排風(fēng)口 102可轉(zhuǎn)動(dòng)到任意位置，使得排風(fēng)口 102可以在任意位置與排風(fēng)管道對(duì)接。如圖5、圖6所示，頂部轉(zhuǎn)環(huán)100外側(cè)壁的排風(fēng)口 102至少為一個(gè)，當(dāng)排風(fēng)口 102為多個(gè)時(shí)，沿所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)100外側(cè)壁水平方向均勻分布或不均勻分布，使得排風(fēng)口 102可以在任意位置與排風(fēng)管道對(duì)接；所述排風(fēng)口 102連接排風(fēng)管道，所述排風(fēng)管道與降溫裝置連接；所述降溫裝置包括依次連接的閥門、熱交換器及風(fēng)機(jī)，所述閥門控制所述熱交換器或/和所述風(fēng)機(jī)。頂部轉(zhuǎn)環(huán)100上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁內(nèi)側(cè)延伸的第一轉(zhuǎn)動(dòng)邊101，所述底部固定環(huán)200上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁外側(cè)延伸的第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊201，第一轉(zhuǎn)動(dòng)邊101與第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊201配合，實(shí)現(xiàn)相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；優(yōu)選的，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)邊101及第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊201的水平截面呈圓弧形，增強(qiáng)轉(zhuǎn)動(dòng)流暢性。如圖3、圖4所示，為了進(jìn)一步增強(qiáng)第一轉(zhuǎn)動(dòng)邊101及第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊201之間轉(zhuǎn)動(dòng)的流暢性，減少摩擦，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊201的邊緣設(shè)有向下的彎折邊204。如圖1所示，所述排風(fēng)口 102上設(shè)有可拆卸的排風(fēng)口蓋205，可將排風(fēng)口蓋205通過(guò)若干螺絲與排風(fēng)口 102連接。所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)100及所述底部固定環(huán)200分別為不銹鋼材料一體結(jié)構(gòu)。上述說(shuō)明示出并描述了本技術(shù)的若干優(yōu)選實(shí)施例，但如前所述，應(yīng)當(dāng)理解本技術(shù)并非局限于本文所披露的形式，不應(yīng)看作是對(duì)其他實(shí)施例的排除，而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境，并能夠在本文所述技術(shù)構(gòu)想范圍內(nèi)，通過(guò)上述教導(dǎo)或相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)或知識(shí)進(jìn)行改動(dòng)。而本領(lǐng)域人員所進(jìn)行的改動(dòng)和變化不脫離本技術(shù)的精神和范圍，則都應(yīng)在本技術(shù)所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種排風(fēng)裝置，其特征在于，包括頂部轉(zhuǎn)環(huán)和底部固定環(huán)；其中，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)為環(huán)狀體，且所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁內(nèi)側(cè)延伸的第一轉(zhuǎn)動(dòng)邊，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)外側(cè)壁上設(shè)有至少一個(gè)供氣流通過(guò)的排風(fēng)口；所述底部固定環(huán)為環(huán)狀體，且所述底部固定環(huán)上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁外側(cè)延伸的第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊；所述底部固定環(huán)外側(cè)壁與所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)有預(yù)設(shè)間距的空隙供氣流通過(guò)，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)相對(duì)于底部固定環(huán)可水平旋轉(zhuǎn)。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種排風(fēng)裝置，其特征在于，包括頂部轉(zhuǎn)環(huán)和底部固定環(huán)；其中，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)為環(huán)狀體，且所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁內(nèi)側(cè)延伸的第一轉(zhuǎn)動(dòng)邊，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)外側(cè)壁上設(shè)有至少一個(gè)供氣流通過(guò)的排風(fēng)口 ；所述底部固定環(huán)為環(huán)狀體，且所述底部固定環(huán)上側(cè)設(shè)有向環(huán)壁外側(cè)延伸的第二轉(zhuǎn)動(dòng)邊；所述底部固定環(huán)外側(cè)壁與所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)有預(yù)設(shè)間距的空隙供氣流通過(guò)，所述頂部轉(zhuǎn)環(huán)相對(duì)于底部固定環(huán)可水平旋轉(zhuǎn)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排風(fēng)裝置，其特征在于，所述底部固定環(huán)下側(cè)設(shè)有向環(huán)體內(nèi)側(cè)或/和外側(cè)延伸的固定邊，所述固定邊上設(shè)有固定裝置用于固定所述底部固定環(huán)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排風(fēng)裝置，其特征在于，所述固定裝置包括螺栓、螺母，在所述固定邊上設(shè)有若干數(shù)量的通孔，所述通孔的孔徑與螺栓的外徑配合。4.根據(jù)權(quán)利要...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：孫少東，董金衛(wèi)，周厲穎，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：北京;11
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