The invention provides a color film substrate comprises a baking oven, oven body, side of the oven body is provided with a multi fan stacked each other in the vertical direction of the box door; the oven heating wire with the body is heated to the air inside, and then placed in the baking of the color film substrate each door, the door is arranged inside the heater to heat the oven door, and the overall temperature of the oven body and around the box door keep the temperature in the uniform, to avoid the color film substrate is removed when the box door, the top of the smoke in cold air condensed water dropping caused the pollution on the surface; wherein, the oven temperature control mechanism is arranged in the body, the temperature control mechanism for the overall temperature control box temperature and oven door body and its surrounding maintain uniformity. The invention accelerates the elimination of smoke in the baking oven, reduces the pollution caused by the condensation of the smoke on the color film substrate, and ensures the quality of the color film substrate.
【技術實現步驟摘要】
一種彩膜基板烘烤箱
本專利技術涉及液晶顯示領域,特別涉及一種彩膜基板烘烤箱。
技術介紹
彩膜基板的制作工藝中,玻璃基板經過清洗機的清洗后,涂布機將彩膜光阻涂布至玻璃基板上,并使用干燥系統將大部分溶劑抽除,然后進行預烘烤、曝光、顯影及后烘烤。CFOVEN(中文名:彩膜后烘烤機)的工作原理如下:電阻絲將空氣加熱至230℃,加熱后的空氣經風機進入烘烤箱室內對顯影后的玻璃基板進行烘烤。光阻劑主要由樹脂(Resin)、感光劑(Sensitizer)以及溶劑(Solvent)等不同的成分混合而成。烘烤最大的目的就是:將經過顯影后的光阻,由熱能蒸發的方式,將光阻內殘留的溶劑降至最低狀態,以達成彩膜成膜之目的。升華物缺陷是影響彩膜基板品質的主要原因之一,產生的主要原因是烘烤箱箱門開關時,烘烤箱內的熱煙霧(熱煙霧的溫度高達230℃)在箱門處遇室外冷空氣(冷空氣的溫度低至23℃),會凝結成水滴滴落到玻璃基板表面造成污染。目前烘烤箱業界均是采用熱風或者紅外線輻射制程的方式。減小煙霧對彩膜基板影響的方式主要有兩種,一是提高烘烤箱內的換氣率;二是增加整個烘烤箱內的排氣。出于節能和設備內溫度的穩定性考量,室內的換氣率一般介于2~5次/min;增加空間內排氣一般是提高廠務排氣,這兩種方式都能在一定程度上減少煙霧造成的品質異常,但依然還是存在煙霧外泄。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種彩膜基板烘烤箱,以解決現有技術中,當彩膜基板經過烘烤從烘烤箱被取出時,由于遇到冷空氣而凝結成水珠滴落在其表面造成污染的問題。本專利技術的技術方案如下:一種彩膜基板烘烤箱,包括烘烤箱本體,所 ...
【技術保護點】
一種彩膜基板烘烤箱,其特征在于,包括烘烤箱本體,所述烘烤箱本體的側面設有多扇在豎直方向上相互層疊的箱門,所述箱門可沿豎直方向獨立地上下運動;所述烘烤箱本體內設有加熱絲,所述加熱絲對所述烘烤箱本體內的空氣進行加熱,以對放置在其中的彩膜基板進行烘烤,每扇所述箱門內部設有加熱器,所述加熱器對所述箱門進行加熱,使所述箱門及其周圍的整體溫度與所述烘烤箱本體內的溫度保持均一性;其中,所述烘烤箱本體內設有與所述加熱器和所述加熱絲連接的溫度控制機構,所述溫度控制機構用于控制所述烘烤箱本體內的溫度與所述箱門及其周圍的整體溫度保持均一性。
【技術特征摘要】
1.一種彩膜基板烘烤箱,其特征在于,包括烘烤箱本體,所述烘烤箱本體的側面設有多扇在豎直方向上相互層疊的箱門,所述箱門可沿豎直方向獨立地上下運動;所述烘烤箱本體內設有加熱絲,所述加熱絲對所述烘烤箱本體內的空氣進行加熱,以對放置在其中的彩膜基板進行烘烤,每扇所述箱門內部設有加熱器,所述加熱器對所述箱門進行加熱,使所述箱門及其周圍的整體溫度與所述烘烤箱本體內的溫度保持均一性;其中,所述烘烤箱本體內設有與所述加熱器和所述加熱絲連接的溫度控制機構,所述溫度控制機構用于控制所述烘烤箱本體內的溫度與所述箱門及其周圍的整體溫度保持均一性。2.根據權利要求1所述的種彩膜基板烘烤箱,其特征在于,每扇所述箱門的外表面均連接有煙霧排導機構,所述烘烤箱本體內的煙霧通過所述煙霧排導機構排出。3.根據權利要求2所述的種彩膜基板烘烤箱,其特征在于,所述煙霧排導機構包括:若干塊煙霧導板,每塊所述煙霧導板設于一扇所述箱門的外表面的中部,用于收集從所述烘烤箱本體排出的煙霧;第一煙霧管,分別設于每塊所述煙霧導板的兩端,用于將收集在所述煙霧導板上的煙霧排出室外;空心煙霧柱,設于所述烘烤箱本體的兩側,并與所述第一煙霧管連通,且所述第一煙霧管可相對于所述空心煙霧柱上下運動,用于將經由所述第一煙霧管傳輸來的煙霧排出室外;...
【專利技術屬性】
技術研發人員:徐畢龍,何田豐,
申請(專利權)人:武漢華星光電技術有限公司,
類型:發明
國別省市:湖北,42
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