一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置制造方法及圖紙

本實(shí)用新型專(zhuān)利技術(shù)涉及一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置，包括承載臺(tái)板，其特征在于所述的承載臺(tái)板為圓形盤(pán)面；承載臺(tái)與圖形化藍(lán)寶石襯底采用點(diǎn)與線的接觸方式，使圖形化藍(lán)寶石襯底加工時(shí)產(chǎn)生的雜質(zhì)落于支撐塊的間隙處，加工時(shí)的圖形化藍(lán)寶石襯底與雜質(zhì)零接觸，以達(dá)到加長(zhǎng)承載臺(tái)板的使用時(shí)間及清理周期，提高生產(chǎn)效率，節(jié)省勞動(dòng)力的目的。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置
本技術(shù)涉及一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置。
技術(shù)介紹
藍(lán)寶石晶體是目前半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展過(guò)程中使用最為廣泛的襯底材料，藍(lán)寶石具有高強(qiáng)度、高熔點(diǎn)、物理化學(xué)性能穩(wěn)定等特性，在軍事、航天航空、光學(xué)、生物、分析、半導(dǎo)體基片以及在高速信息處理、電子光子裝置的微型化、智能化方面得到廣泛的應(yīng)用。藍(lán)寶石襯底對(duì)于制作LED芯片來(lái)說(shuō)，襯底材料的選用是首要考慮的問(wèn)題。通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長(zhǎng)在藍(lán)寶石襯底上。藍(lán)寶石襯底有許多的優(yōu)點(diǎn)：首先，藍(lán)寶石襯底的生產(chǎn)技術(shù)成熟、器件質(zhì)量較好；其次，藍(lán)寶石的穩(wěn)定性很好，能夠運(yùn)用在高溫生長(zhǎng)過(guò)程中；最后，藍(lán)寶石的機(jī)械強(qiáng)度高，易于處理和清洗，因此大多數(shù)工藝一般都以藍(lán)寶石作為襯底。而現(xiàn)有的用于圖形化藍(lán)寶石襯底加工的承載臺(tái)多是采用平面接觸，且加工過(guò)程中產(chǎn)生的雜質(zhì)易落于承載臺(tái)上，影響圖形化藍(lán)寶石襯底加工，需時(shí)時(shí)清理，其加大了工作人員的勞動(dòng)力，且大大的影響圖形化藍(lán)寶石襯底的加工效率。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是克服上述缺陷，提供的一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)采用如下方式進(jìn)行。一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置，包括承載臺(tái)板，其特征在于所述的承載臺(tái)板呈為圓形；所述的承載臺(tái)板工作面上設(shè)有圖形化藍(lán)寶石襯底支撐密封圈；所述的承載臺(tái)板工作面上還設(shè)有圖形化藍(lán)寶石襯底支撐塊，支撐塊位于支撐密封圈內(nèi)，支撐塊端面與支撐密封圈端面平齊；所述的承載臺(tái)板上還設(shè)有真空吸孔與輔助吸孔，真空吸孔位于承載臺(tái)板中心位置，輔助吸孔位于支撐塊的間隙處。優(yōu)選的，所述的承載臺(tái)板設(shè)有若干個(gè)支撐塊，支撐塊均布于承載臺(tái)板上的支撐密封圈內(nèi)。優(yōu)選的，所述的輔助吸孔以環(huán)形陣列式分布于承載臺(tái)板上。本技術(shù)的有益效果是：提供一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置，承載臺(tái)與圖形化藍(lán)寶石襯底采用點(diǎn)與線的接觸方式，使圖形化藍(lán)寶石襯底加工時(shí)產(chǎn)生的雜質(zhì)落于支撐塊的間隙處，加工時(shí)的圖形化藍(lán)寶石襯底與雜質(zhì)零接觸，以達(dá)到加長(zhǎng)承載臺(tái)板的使用時(shí)間及清理周期，提高生產(chǎn)效率，節(jié)省勞動(dòng)力的目的。附圖說(shuō)明圖1為本技術(shù)提出的一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中：1承載臺(tái)板、2支撐密封圈、3輔助吸孔、4支撐塊、5真空吸孔。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本技術(shù)的一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置作進(jìn)一步的描述。如圖所示，一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置，包括承載臺(tái)板1，其特征在于所述的承載臺(tái)板1呈為圓形；所述的承載臺(tái)板1工作面上設(shè)有圖形化藍(lán)寶石襯底支撐密封圈2；所述的承載臺(tái)板1工作面上還設(shè)有圖形化藍(lán)寶石襯底支撐塊4，支撐塊4位于支撐密封圈2內(nèi)，支撐塊4端面與支撐密封圈（2）端面平齊；所述的承載臺(tái)板1上還設(shè)有真空吸孔5與輔助吸孔3，真空吸孔5位于承載臺(tái)板1中心位置，輔助吸孔3位于支撐塊4的間隙處。工作原理：圖形化藍(lán)寶石襯底加工時(shí)，將圖形化藍(lán)寶石襯底放置承載臺(tái)上，與承載臺(tái)板1上的支撐密封圈2與支撐塊4形成點(diǎn)線接觸，再利用真空吸孔5與輔助吸孔3將圖形化藍(lán)寶石襯底吸于承載臺(tái)板1上，對(duì)其進(jìn)行加工，加工時(shí)產(chǎn)生的雜質(zhì)落于支撐塊4的間隙處，使圖形化藍(lán)寶石襯底與雜質(zhì)零接觸，以達(dá)到加長(zhǎng)承載臺(tái)板1的使用時(shí)間及清理周期，提高生產(chǎn)效率，節(jié)省勞動(dòng)力的目的。以上所述的實(shí)施例，只是本技術(shù)較典型的具體實(shí)施方式的一種，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本技術(shù)技術(shù)方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在本技術(shù)的操作范圍內(nèi)。本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置，包括承載臺(tái)板（1），其特征在于所述的承載臺(tái)板（1）呈為圓形；所述的承載臺(tái)板（1）工作面上設(shè)有圖形化藍(lán)寶石襯底支撐密封圈（2）；所述的承載臺(tái)板（1）工作面上還設(shè)有圖形化藍(lán)寶石襯底支撐塊（4），支撐塊（4）位于支撐密封圈（2）內(nèi)，支撐塊（4）端面與支撐密封圈（2）端面平齊；所述的承載臺(tái)板（1）上還設(shè)有真空吸孔（5）與輔助吸孔（3），真空吸孔（5）位于承載臺(tái)板（1）中心位置，輔助吸孔（3）位于支撐塊（4）的間隙處。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種圖形化藍(lán)寶石襯底加工用的承載臺(tái)裝置，包括承載臺(tái)板（1），其特征在于所述的承載臺(tái)板（1）呈為圓形；所述的承載臺(tái)板（1）工作面上設(shè)有圖形化藍(lán)寶石襯底支撐密封圈（2）；所述的承載臺(tái)板（1）工作面上還設(shè)有圖形化藍(lán)寶石襯底支撐塊（4），支撐塊（4）位于支撐密封圈（2）內(nèi)，支撐塊（4）端面與支撐密封圈（2）端面平齊；所述的承載臺(tái)板（1）上還設(shè)有真空吸孔（5）與輔助吸孔（3），真空吸...

【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：侯想，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：福建中晶科技有限公司，
類(lèi)型：新型
國(guó)別省市：福建,35