基板檢測裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種基板檢測裝置，包含裝置本體、承載模塊、照明攝像模塊及控制模塊。裝置本體的一面可活動地設有位移單元，位移單元的一面設有發光件，并且，裝置本體的所述的一面懸設升降單元。承載模塊懸設在位移單元的一面，承載模塊相對位移單元的一面活動地設有若干個夾固單元，若干個夾固單元可活動地夾持基板，并且，承載模塊本體具有開口。照明攝像模塊設置在升降單元上。控制模塊電耦接位移單元、升降單元及照明攝像模塊。

Substrate detecting device

The utility model discloses a substrate detection device, which comprises a device body, a load bearing module, an illumination camera module and a control module. One side of the device body can be movably provided with a displacement unit, one side of the displacement unit is provided with a luminous element, and the lifting unit is hung on one side of the device body. A bearing unit module in suspension displacement, relative displacement of the side bearing module unit is provided with a plurality of active clamping unit, a plurality of clamping unit movably holding substrate, and bearing module body having an opening. The illumination camera module is arranged on the lifting unit. The control module is electrically coupled with a displacement unit, a lifting unit and an illumination camera module.

【技術實現步驟摘要】
基板檢測裝置
本技術涉及一種檢測裝置，具體涉及一種可利用照明攝像模塊獲取基板的若干個區域影像的基板檢測裝置。
技術介紹
「光罩(Mask)」是制作集成電路非常重要的工具，將設計圖上的幾何圖形「第一次縮小」，以電子束刻在基板(如石英片)上，由于電子束的直徑大小約為1μm(微米)，所以用電子束刻在石英片上的圖形線寬大約1μm(微米)，再利用光罩進行圖形轉移，將光罩上的圖形轉移到硅晶圓上。而光罩在進行圖形轉移前，需先經過檢測流程，檢測光罩上是否存在異物。目前傳統的檢測裝置，皆是對基板上的光罩進行全面積影像獲取，再進行判讀光罩上是否存在異物。然而，由于傳統的檢測方式是對基板進行全面積的一次性影像獲取，因此，容易造成影像分辨率不足，而無法完全判讀出光罩上的所有異物，或者容易造成判讀錯誤等問題。綜合上述，本技術的專利技術人思索并設計一種基板檢測裝置，以期針對現有技術中的缺失加以改善，進而增進產業上的實施利用。
技術實現思路
有鑒于上述現有技術中的問題，本技術的目的在于提供一種基板檢測裝置，以解決現有技術中所存在的問題。根據本技術的目的，提出一種基板檢測裝置，包含裝置本體、承載模塊、照明攝像模塊及控制模塊。裝置本體的一面可活動地設有位移單元，位移單元的一面設有發光件，并且，裝置本體的所述的一面懸設升降單元。承載模塊懸設在位移單元的一面，承載模塊相對位移單元的一面活動地設有若干個夾固單元，若干個夾固單元可活動地夾持基板，并且，承載模塊本體具有開口。照明攝像模塊設置在升降單元上。控制模塊電耦接位移單元、升降單元及照明攝像模塊，控制模塊接收并依據第一檢測信號而驅使升降單元朝第一方向進行位移，以使照明攝像模塊趨近于基板，控制模塊控制位移單元驅使發光件通過開口朝基板投射第一光源，以及控制位移單元以步進方式朝第二方向或第三方向進行位移，以帶動承載模塊進行位移，并且，控制模塊控制照明攝像模塊獲取基板的若干個第一區域的影像，并產生若干個第一影像。優選地，控制模塊可接收若干個第一影像，并經由默認拼接程序將若干個第一影像轉換成第一全幅檢測影像，并且，控制模塊依據第一全幅檢測影像與第一默認標準影像比對，以產生第一檢測結果信息。優選地，控制模塊接收并依據第二檢測信號而驅使照明攝像模塊朝基板投射第二光源，并控制位移單元以步進方式朝第二方向或第三方向進行位移，以帶動承載模塊進行位移，并且，控制模塊控制照明攝像模塊獲取基板的若干個區域的影像，并產生若干個第二影像。優選地，控制模塊接收若干個第二影像，并經由默認拼接程序將若干個第二影像轉換成第二全幅檢測影像，并且，控制模塊依據第二全幅檢測影像與第二默認標準影像比對，以產生第二檢測結果信息。優選地，基板檢測裝置還包含照明模塊，可活動地設置在裝置本體上，并電連接控制模塊，照明模塊設有聚光單元，控制模塊接收并依據第三檢測信號而控制照明模塊朝承載模塊位移，以使聚光單元位移至位移單元與承載模塊之間，并對應照明攝像模塊，控制模塊控制位移單元以步進方式朝第二方向或第三方向進行位移，以帶動承載模塊依序位移至若干個預定位置，并控制聚光單元通過開口朝基板的若干個通口的其中一通口投射聚光源，并且，控制模塊控制照明攝像模塊依序獲取若干個通口的影像，并產生若干個通口影像。優選地，基板檢測裝置還包含測距模塊，電連接控制模塊，并設置在升降單元上，控制模塊依據測量信號而控制測距模塊朝基板投射至少一測距光源，并且，測距模塊接收基板所反射的至少一測距光源，以產生距離信號。優選地，控制模塊可接收距離信號，并據以控制升降單元朝第一方向進行位移，以使照明攝像模塊與基板距離預定工作距離，并且，控制模塊依據第一檢測信號而控制照明攝像模塊獲取基板的各區域影像。優選地，基板檢測裝置還包含輸入模塊，電連接控制模塊，輸入模塊受至少一觸碰，而選擇性地產生第一檢測信號或第二檢測信號，并傳送第一檢測信號或第二檢測信號至控制模塊。優選地，基板檢測裝置還包含存儲模塊，電連接控制模塊，存儲模塊可存儲默認拼接程序、默認標準影像、全幅檢測影像及檢測結果信息。綜上所述，本技術的基板檢測裝置，可具有一或多個下述優點：(1)此基板檢測裝置可通過裝置本體驅使承載模塊以步進方式進行位移，并控制照明攝像模塊對基板的若干個區域進行影像獲取，以取得高畫質且清晰的第一影像，進而提供操作者判讀基板上是否存在異物，因此可提高基板異物檢測的準確性。(2)此基板檢測裝置可通過測距模塊朝基板投射測距光源，并接收所反射的測距光源，以產生距離信號，進而取得得知基板的厚度，而可調整照明攝像模塊影像獲取的工作高度，因此可提供定焦照明攝像模塊獲取影像的便利性。附圖說明圖1為本技術的基板檢測裝置的第一實施例的第一示意圖；圖2為本技術的基板檢測裝置的第一實施例的第二示意圖；圖3為本技術的基板檢測裝置的第一實施例的框圖；圖4為本技術的基板檢測裝置的第二實施例的示意圖；圖5為本技術的基板檢測裝置的第三實施例的第一示意圖；圖6為本技術的基板檢測裝置的第三實施例的第二示意圖；圖7為本技術的基板檢測裝置的第四實施例的示意圖；圖8為本技術的基板檢測裝置的第四實施例的框圖；圖9為本技術的基板檢測裝置的第五實施例的框圖；圖10為本技術的基板檢測方法的第一流程圖；圖11系為本技術的基板檢測方法第二流程圖；圖12為本技術的基板檢測方法的第三流程圖；圖13為本技術的基板檢測方法之第四流程圖。附圖標記：1：基板檢測裝置10：裝置本體100：位移單元100A：發光件100B：第一光源101：升降單元11：承載模塊110：夾固單元111：開口12：照明攝像模塊120A：第一影像120B：第二影像120C：通口影像121：第二光源13：照明模塊130：聚光單元130A：聚光源14：控制模塊140A：第一檢測信號140B：第二檢測信號140C：第三檢測信號141A：第一全幅檢測影像141B：第二全幅檢測影像142A：第一默認標準影像142B：第二默認標準影像143A：第一檢測結果信息143B：第二檢測結果信息144：測量信號15：測距模塊150：測距光源151：距離信號16：輸入模塊17：存儲模塊2：基板20A：第一區域20B：第二區域21：通口S30～S34：步驟具體實施方式為利于了解本技術的技術特征、內容與優點及其所能達成的功效，茲將本技術配合附圖，并以實施例的表達形式詳細說明如下，而其中所使用的附圖，其主旨僅為示意及輔助說明書之用，未必為本技術實施后的真實比例與精準配置，故不應就所附的附圖的比例與配置關系局限本技術在實際實施上的專利范圍，合先敘明。以下將參照相關附圖，說明依本技術的基板檢測裝置及其方法的實施例，為使便于理解，下述實施例中的相同組件以相同的符號標示來說明。請參閱圖1至圖3，分別為本技術的基板檢測裝置的第一實施例的第一示意圖、第二示意圖及框圖。如圖所示，基板檢測裝置1包含裝置本體10、承載模塊11、照明攝像模塊12及控制模塊14。裝置本體10的一面可活動地設有位移單元100，位移單元100的一面設有發光件100A，并且，裝置本體10的所述的一面懸設升降單元101。承載模塊11懸設在位移單元100的一面，承載模塊11相本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種基板檢測裝置，其特征在于，包含：裝置本體，所述的裝置本體的一面可活動地設有位移單元，所述的位移單元的一面設有一發光件，并且，所述的裝置本體的所述的一面懸設升降單元；承載模塊，懸設在所述的位移單元的一面，所述的承載模塊相對所述的位移單元的一面活動地設有若干個夾固單元，所述的若干個夾固單元可活動地夾持基板，并且，所述的承載模塊的本體具有開口；照明攝像模塊，設置在所述的升降單元上；以及控制模塊，電耦接所述的位移單元、所述的升降單元及所述的照明攝像模塊，所述的控制模塊接收并依據第一檢測信號而驅使所述的升降單元朝第一方向進行位移，以使所述的照明攝像模塊趨近于所述的基板，所述的控制模塊控制所述的位移單元驅使所述的發光件通過所述的開口朝所述的基板投射第一光源，以及控制所述的位移單元以步進方式朝第二方向或第三方向進行位移，以帶動所述的承載模塊進行位移，并且，所述的控制模塊控制所述的照明攝像模塊獲取所述的基板的若干個第一區域的影像，并產生若干個第一影像。

【技術特征摘要】
2015.11.06 TW 1041366681.一種基板檢測裝置，其特征在于，包含：裝置本體，所述的裝置本體的一面可活動地設有位移單元，所述的位移單元的一面設有一發光件，并且，所述的裝置本體的所述的一面懸設升降單元；承載模塊，懸設在所述的位移單元的一面，所述的承載模塊相對所述的位移單元的一面活動地設有若干個夾固單元，所述的若干個夾固單元可活動地夾持基板，并且，所述的承載模塊的本體具有開口；照明攝像模塊，設置在所述的升降單元上；以及控制模塊，電耦接所述的位移單元、所述的升降單元及所述的照明攝像模塊，所述的控制模塊接收并依據第一檢測信號而驅使所述的升降單元朝第一方向進行位移，以使所述的照明攝像模塊趨近于所述的基板，所述的控制模塊控制所述的位移單元驅使所述的發光件通過所述的開口朝所述的基板投射第一光源，以及控制所述的位移單元以步進方式朝第二方向或第三方向進行位移，以帶動所述的承載模塊進行位移，并且，所述的控制模塊控制所述的照明攝像模塊獲取所述的基板的若干個第一區域的影像，并產生若干個第一影像。2.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述的控制模塊接收所述的若干個第一影像，并經由默認拼接程序將所述的若干個第一影像轉換成一第一全幅檢測影像，并且，所述的控制模塊依據所述的第一全幅檢測影像與第一默認標準影像比對，以產生第一檢測結果信息。3.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述的控制模塊接收并依據第二檢測信號而驅使所述的照明攝像模塊朝所述的基板投射第二光源，并控制所述的位移單元以步進方式朝所述的第二方向或所述的第三方向進行位移，以帶動所述的承載模塊進行位移，并且，所述的控制模塊控制所述的照明攝像模塊獲取所述的基板的若干個第二區域的影像，并產生若干個第二影像。4.根據權利要求3所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述的控制模塊接收所述的若干個第二影像，并經由默認拼接程序將所述的若干個第二影像轉換成第二全幅檢測影像，并且，所述的控...

【專利技術屬性】
技術研發人員：張志強，
申請(專利權)人：艾斯邁科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：中國臺灣,71