一種水洗裝置制造方法及圖紙

一種水洗裝置，包括中空的塔體、噴淋裝置、水封和儲液罐；噴淋裝置設于塔體頂部的內壁；水封位于塔體底部的下端，并連通于塔體和儲液罐；塔體設有進氣管和排氣管；進氣管連通于塔體的底部，排氣管連通于塔體上部的側壁。本實用新型專利技術根據上述內容，能夠除去溶于水的酸性氣體，并將酸性氣體的水溶液有效的儲存和利用，提高成品氣體的純度。

Water washing device

A washing device, comprising a hollow tower body, a spraying device, and the water tank; the inner wall of the spray device is arranged on the top of the tower; the lower seal at the bottom of the tower body, and connected with the tower body and the liquid storage tank; the tower body is provided with an air inlet pipe and an exhaust pipe; the air inlet pipe is communicated with the bottom of the tower body, exhaust the side wall of pipe communicated with the upper part of a tower. According to the above contents, the utility model can remove the acid gas dissolved in water and effectively store and utilize the aqueous solution of the acidic gas, thereby improving the purity of the finished gas.

【技術實現步驟摘要】
一種水洗裝置
本技術涉及水洗設備領域，尤其涉及一種水洗裝置。
技術介紹
四氟化碳是目前微電子工業中重要的等離子體蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、印刷電路生產中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應用。但是，在制備四氟化碳氣體的過程中，會產生影響四氟化碳氣體純度的物質，如氟化氫氣體，碳粉等，嚴重影響四氟化碳氣體的純度，所以，迫切需要一種可靠的水洗設備。
技術實現思路
本技術的目的在于提出一種水洗裝置，能夠除去溶于水的酸性氣體，并將酸性氣體的水溶液有效的儲存和利用，提高成品氣體的純度。為達此目的，本技術采用以下技術方案：一種水洗裝置，包括中空的塔體、噴淋裝置、水封和儲液罐；所述噴淋裝置設于所述塔體頂部的內壁；所述水封位于所述塔體底部的下端，并連通于所述塔體和儲液罐；所述塔體設有進氣管和排氣管；所述進氣管連通于所述塔體的底部，所述排氣管連通于所述塔體上部的側壁。進一步，所述塔體至少包括兩個塔節；相鄰的所述塔節通過法蘭連接。進一步，相鄰的塔節之間設置有篩板，并通過相鄰的所述塔節之間的所述法蘭固定。進一步，所述噴淋裝置為花灑式噴淋裝置。進一步，沿所述塔體的外周設置有多個掛耳。進一步，所述儲液罐的側壁至少設有一條出料管。進一步，位于所述儲液罐側壁的下部至少設有一條排污管；所述出料管的水平位置高于所述排污管的水平位置。進一步，所述水封包括正向U型水封和反向U型水封；所述正向U型水封的一端與所述反向U型水封的一端連接，所述正向U型水封的另一端與所述塔體的底部連接，所述反向U型水封的另一端與所述儲液罐連接。進一步，所述反向U型水封的頂部設有連通于外部的通管。進一步，所述塔體上部的內壁安裝有喇叭狀的配液盤；所述配液盤由其上端的開口向其下端的開口逐漸向內收窄；所述配液盤位于所述噴淋裝置的下方且其上端開口靠近于所述噴淋裝置。本技術的目的在于提出一種水洗裝置，能夠除去溶于水的酸性氣體，并將酸性氣體的水溶液有效的儲存和利用，提高成品氣體的純度。將混有氟化氫氣體和四氟化碳氣體的混合氣體從所述進氣口通入至所述塔體，由于氟化氫氣體易溶于水，四氟化碳氣體不易溶于水，所述噴淋裝置噴出的水會把氟化氫氣體變成氟化氫的水溶液，并且氟化氫的水溶液會通過水封流入至所述儲液罐，把其作為副產品保存起來，在在所述水封的作用下，四氟化碳氣體并不能進入所述儲液罐，提高氟化氫的水溶液的純度。由于所述進氣管連通于所述塔體的底部，所述排氣管連通于所述塔體上部的側壁，所述噴淋裝置設于所述塔體頂部的內壁，通過這樣的配合，能夠增加混合氣體流動的路程，使得所述噴淋裝置噴出的水有更加多的時間與混合氣體接觸，進一步提高水洗的效率，進一步提高四氟化碳氣體的純度，提高氟化氫的水溶液的產率。附圖說明圖1是本技術其中一個實施例的正面結構示意圖。其中：塔體41、進氣管411、排氣管412、塔節413、法蘭414、掛耳415、配液盤416、噴淋裝置42、水封43、正向U型水封431、反向U型水封432、通管4321、儲液罐44、出料管441、排污管442、篩板45。具體實施方式下面結合附圖并通過具體實施方式來進一步說明本技術的技術方案。一種水洗裝置，包括中空的塔體41、噴淋裝置42、水封43和儲液罐44；所述噴淋裝置42設于所述塔體41頂部的內壁；所述水封43位于所述塔體41底部的下端，并連通于所述塔體41和儲液罐44；所述塔體41設有進氣管411和排氣管412；所述進氣管411連通于所述塔體41的底部，所述排氣管412連通于所述塔體41上部的側壁。為了更加清楚地說明，圖1中的所述塔體41的中部與上部、還有儲液罐44為內部示意圖，以更加清晰地看到所述噴淋裝置42、配液盤416、出料管441和排污管442的結構和位置。將混有氟化氫氣體和四氟化碳氣體的混合氣體從所述進氣口411通入至所述塔體41，由于氟化氫氣體易溶于水，四氟化碳氣體不易溶于水，所述噴淋裝置42噴出的水會把氟化氫氣體變成氟化氫的水溶液，并且氟化氫的水溶液會通過水封43流入至所述儲液罐44，把其作為副產品保存起來，在在所述水封43的作用下，四氟化碳氣體并不能進入所述儲液罐44，提高氟化氫的水溶液的純度。由于所述進氣管411連通于所述塔體41的底部，所述排氣管412連通于所述塔體41上部的側壁，所述噴淋裝置42設于所述塔體41頂部的內壁，通過這樣的配合，能夠增加混合氣體流動的路程，使得所述噴淋裝置42噴出的水有更加多的時間與混合氣體接觸，進一步提高水洗的效率，進一步提高四氟化碳氣體的純度，提高氟化氫的水溶液的產率。進一步，所述塔體41至少包括兩個塔節413，本實施例的所述塔節413為管狀的，所述塔節413內裝填有PP填料；相鄰的所述塔節413通過法蘭414連接。可以根據實際的情況，增加所述塔節413的數量，以增加所述塔體41的長度，同時，通過所述法蘭414連接，方便后續所述塔節413的拆裝和維修。進一步，相鄰的塔節413之間設置有篩板45，并通過相鄰的所述塔節413之間的所述法蘭414固定。混有氟化氫氣體和四氟化碳氣體的混合氣體中會混有粉塵，主要是制備四氟化碳氣體時不充分反應留下的碳粉，所述篩板45能夠把粉塵過濾，增加四氟化碳氣體的純度，所述篩板45通過相鄰的所述塔節413之間的所述法蘭414固定，更加方便其安裝和拆卸。進一步，所述噴淋裝置42為花灑式噴淋裝置。花灑式噴淋裝置能夠把水更加充分地噴淋，使水的噴淋面積更大，令水與混合氣體的更加充分地接觸，提高水洗的質量。進一步，沿所述塔體41的外周設置有多個掛耳415。所述塔體41安裝時，通過鋼索系住所述掛耳415，進一步提高所述塔體41的安裝的穩定性。進一步，所述儲液罐44的側壁至少設有一條出料管441。方便水洗后的副產品氟化氫的水溶液的出料，本實施例設有1條出料管441，在滿足出料的前提下能夠降低成本。進一步，位于所述儲液罐44側壁的下部至少設有一條排污管442；所述出料管441的水平位置高于所述排污管442的水平位置。混合氣體中的粉塵經水洗后會成為固態渣，并且會一同進入至所述儲液罐44，由于重力作用，這些固態渣會沉積在所述儲液罐44的底部，本實施例的所述儲液罐44的內部設置有隔板，有效將固態渣沉降下來而不參與循環，且設置有兩條所述排污管442，均設在所述儲液罐44側壁的下部，能夠加快固態渣的清理速度。因為所述儲液罐44底部沉積有固態渣，所述出料管441的水平位置高于所述排污管442的水平位置，從所述出料管441排出的氟化氫的水溶液的純度會更加高。進一步，所述水封43包括正向U型水封431和反向U型水封432；所述正向U型水封431的一端與所述反向U型水封432的一端連接，所述正向U型水封431的另一端與所述塔體41的底部連接，所述反向U型水封432的另一端與所述儲液罐44連接。所述正向U型水封431和反向U型水封432價格便宜，成本低，通過所述正向U型水封431和反向U型水封432的配合，能夠有效地阻止四氟化碳氣體進入到所述儲液罐。進一步，所述反向U型水封432的頂部設有連通于外部的通管4321。所述通管4321連通至外部，本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種水洗裝置，包括中空的塔體、噴淋裝置、水封和儲液罐；其特征在于：所述噴淋裝置設于所述塔體頂部的內壁；所述水封位于所述塔體底部的下端，并連通于所述塔體和儲液罐；所述塔體設有進氣管和排氣管；所述進氣管連通于所述塔體的底部，所述排氣管連通于所述塔體上部的側壁。

【技術特征摘要】
1.一種水洗裝置，包括中空的塔體、噴淋裝置、水封和儲液罐；其特征在于：所述噴淋裝置設于所述塔體頂部的內壁；所述水封位于所述塔體底部的下端，并連通于所述塔體和儲液罐；所述塔體設有進氣管和排氣管；所述進氣管連通于所述塔體的底部，所述排氣管連通于所述塔體上部的側壁。2.根據權利要求1所述的一種水洗裝置，其特征在于：所述塔體至少包括兩個塔節；相鄰的所述塔節通過法蘭連接。3.根據權利要求2所述的一種水洗裝置，其特征在于：相鄰的塔節之間設置有篩板，并通過相鄰的所述塔節之間的所述法蘭固定。4.根據權利要求1所述的一種水洗裝置，其特征在于：所述噴淋裝置為花灑式噴淋裝置。5.根據權利要求1所述的一種水洗裝置，其特征在于：沿所述塔體的外周設置有多個掛耳。6.根據權利要求1所述的一種水洗裝置，其特征在于：所述儲液...

【專利技術屬性】
技術研發人員：肖三，關創新，何西，
申請(專利權)人：廣東華特氣體股份有限公司，江西華特電子化學品有限公司，江門市新會特種氣體研究所有限公司，
類型：新型
國別省市：廣東,44