本發(fā)明專利技術(shù)使液體噴射頭的外形形狀小型化，且使電極的構(gòu)圖容易。液體噴射頭（1）：具備：噴嘴板（4），具有用于吐出液體的噴嘴（3）；側(cè)壁（6），設(shè)置于噴嘴板的上方，構(gòu)成長度方向的深度一定的槽（5）；驅(qū)動電極（7），形成于側(cè)壁（6）的壁面，選擇性地使側(cè)壁（6）變形；蓋板（10），設(shè)置于側(cè)壁（6）的上表面（US），具備將液體供給至槽（5）的供給口（8）和從槽（5）排出液體的排出口（9）；以及封閉件（11），將比槽（5）與供給口（8）之間和槽（5）與排出口（9）之間的各連通部更靠外側(cè)的槽（5）封閉。
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及從噴嘴吐出液體而在被記錄介質(zhì)形成圖像或文字或者薄膜材料的液體噴射頭、使用該液體噴射頭的液體噴射裝置以及液體噴射頭的制造方法。
技術(shù)介紹
近幾年，利用將墨滴吐出至記錄紙等而描繪文字、圖形或?qū)⒁后w材料吐出至元件基板的表面而形成功能性薄膜的噴墨方式的液體噴射頭。該方式為，將墨或液體材料從液體罐經(jīng)由供給管而供給至液體噴射頭，使填充至通道的墨或液體材料從與通道連通的噴嘴吐出。在墨的吐出時，使液體噴射頭或記錄所噴射的液體的被記錄介質(zhì)移動，記錄文字或圖形或者形成既定形狀的功能性薄膜。在專利文獻I中，記載了在由壓電體材料構(gòu)成的薄板形成有由許多槽構(gòu)成的墨通道的噴墨頭100。圖16是專利文獻I的圖I所記載的噴墨頭100的剖面圖。噴墨頭100具 備蓋125、由壓電體構(gòu)成的PZT薄板103以及底蓋137的3層構(gòu)造。蓋125具備用于吐出墨的小滴的噴嘴127。在PZT薄板103的上表面，形成有剖面形狀為船型形狀的墨通道107。墨通道107沿與長度方向正交的方向并列地形成多個，與鄰接的墨通道之間由側(cè)壁113劃分。在側(cè)壁113的上側(cè)壁面，形成有電極115。在鄰接的墨通道的側(cè)壁面也形成有電極。即，側(cè)壁113由形成于鄰接的墨通道的側(cè)壁面的未圖示的電極夾著。墨通道107和噴嘴127連通。在PZT薄板103，供給導(dǎo)管132和排出導(dǎo)管133形成于底側(cè)，與墨通道107在其兩端部附近連通。從供給導(dǎo)管132供給墨，從排出導(dǎo)管133排出墨。在墨通道107的左端部和右端部的PZT薄板103的表面，形成有凹部129。未圖示的電極形成于凹部129的底面，與形成于墨通道107的側(cè)壁面的電極115電導(dǎo)通。連接端子134收納于凹部129，與形成于凹部129的底面的電極電連接。該噴墨頭100如下地進行動作。如果從連接端子134施加驅(qū)動信號，則將驅(qū)動信號施加至夾著側(cè)壁113的電極115。于是，側(cè)壁113發(fā)生厚度滑移(厚 滑”)變形而使墨通道107的容積變化。由此，將壓力變動施加至填充至墨通道107的墨，從噴嘴127吐出墨的小滴。將這種噴墨頭稱為側(cè)面射擊(side shoot)型、穿流(through flow)類型。墨通道107內(nèi)的墨從供給導(dǎo)管132供給并從排出導(dǎo)管133排出而循環(huán)。因此，即使氣泡混入墨通道，也能夠在短時間內(nèi)排出，不使用帽構(gòu)造和服務(wù)站，就能夠?qū)嵤┚S護。在專利文獻2中，記載了與上述噴墨頭構(gòu)造不同的噴墨頭。圖17是專利文獻2所記載的噴墨頭的部分立體圖。噴墨頭具備在下部側(cè)通過分隔而分離的2個前置室931、941、由底板900分隔的上部側(cè)的2個充氣室980’、980’ ’、將2個充氣室980’、980’ ’分離的由壓電體構(gòu)成的梯形狀的PZT塊110以及將PZT塊110的上部閉塞并形成有多個噴嘴994的板991。在前置室931設(shè)置有流入歧管930，能夠經(jīng)由形成于底板900的口 972而將墨供給至充氣室980’。在前置室941設(shè)置有排出歧管940，從形成于底板900的口排出墨。而且，流入充氣室980’的墨通過梯形狀的PZT塊110的間隙而流動至充氣室980’ ’。在各PZT塊110的兩側(cè)面，形成有驅(qū)動電極。在PZT塊110的上表面和傾斜面，形成有與該驅(qū)動電極連接且互相電分離的2個引出電極(參照專利文獻I的圖7)。許多導(dǎo)電性軌道形成于底板900的上表面，與上述引出電極電連接(參照專利文獻I的圖14、圖15)。通過將驅(qū)動信號經(jīng)由導(dǎo)電性軌道、弓I出電極而施加至驅(qū)動電極，從而使PZT塊110發(fā)生滑移變形，使填充至PZT塊110之間的室的墨產(chǎn)生壓力波，從噴嘴994吐出墨。專利文獻I :日本專利第4658324號公報； 專利文獻2 :日本專利第4263742號公報。
技術(shù)實現(xiàn)思路
近幾年，噴墨頭要求小型化，但專利文獻I所記載的噴墨頭，小型化存在著界限。專利文獻I的噴墨頭100，墨通道107在底側(cè)具有凸的船型形狀。這是因為，由于當在PZT薄板103的表面形成墨通道107的槽時，使用圓盤狀的切割刀片(也稱為金剛石砂輪)，因而切割刀片的外形形狀殘留于槽的端部。在使用例如直徑4英寸的切割刀片而形成深度350 y m的墨通道107的情況下，切割刀片的圓弧形狀為，轉(zhuǎn)印的PZT薄板103上的合計長度成為約12mm。即，在形成墨通道107時，除了墨通道107的通道長度以外，還必須在墨通道107的兩端部確保合計長度約12mm的底為圓弧形狀的死空間。在使用直徑2英寸的切割刀片的情況下，在墨通道107的兩端部也需要合計長度約8. 3mm的死空間。因此，不能小型地形成噴墨頭100，此外，將PZT基板分割成PZT薄板103時的加工個數(shù)也變少，成本提高。專利文獻2所記載的噴墨頭將構(gòu)成墨通道的PZT塊110沉積于底板900而構(gòu)成。因此，沒有必要確保像專利文獻I的噴墨頭那樣的用于形成墨通道的死空間。可是，在專利文獻2所記載的噴墨頭中，必須在PZT塊110的上表面和傾斜面且在底板900的上表面形成電分離的許多導(dǎo)電性軌道，電極的構(gòu)圖復(fù)雜，加工需要長時間。S卩，在梯形狀的PZT塊110的上表面與底板900的上表面之間，存在著例如約300i!m以上的高低差。因此，難以通過光刻和蝕刻エ序來對沉積于這些表面的導(dǎo)電層總括地構(gòu)圖而與電極分離。于是，利用將激光照射至沉積于PZT塊110的上表面和傾斜面的導(dǎo)電層而使導(dǎo)電體局部地氣化而除去的方法來進行電極的構(gòu)圖。可是，形成的電極數(shù)為數(shù)百條以上，因而電極的構(gòu)圖需要很大的時間。另外，專利文獻I的墨通道107，切割刀片的外形形狀殘留于其兩端部，在形成于墨通道107的下部的供給導(dǎo)管132和排出導(dǎo)管133之間，形成有墨的流動停滯的滯留區(qū)域。同樣地，專利文獻2的噴墨頭，在前置室931內(nèi)從流入歧管930流入的墨流動至ロ 972，但由于流入歧管930由多孔質(zhì)材料制作，因而墨充滿于前置室931內(nèi)。因此，在前置室931的底面和上表面角部，形成有墨的流動停滯的滯留區(qū)域，混入墨的氣泡和異物殘留于流路內(nèi)，這成為引起噴嘴994的吐出不良的原因。本專利技術(shù)是鑒于上述現(xiàn)有方法的課題而做出的，其目的在于，提供能夠無上述死空間地緊湊地構(gòu)成液體噴射頭且電極的構(gòu)圖容易的液體噴射頭。本專利技術(shù)的液體噴射頭，具備噴嘴板，具有用于吐出液體的噴嘴；側(cè)壁，設(shè)置于所述噴嘴板的上方，構(gòu)成長度方向的深度一定的槽；驅(qū)動電極，形成于所述側(cè)壁的壁面；蓋板，設(shè)置于所述側(cè)壁的上表面，具備將液體供給至所述槽的供給口和從所述槽排出液體的排出ロ ；以及封閉件，將比所述槽與所述供給ロ之間和所述槽與所述排出ロ之間的各連通部更靠外側(cè)的槽封閉。另外，所述蓋板使所述側(cè)壁的長度方向的端部上表面露出而設(shè)置于所述側(cè)壁的上表面，在所述端部上表面形成有與所述驅(qū)動電極電連接的引出電極。另外，還具備在表面具有布線電極的圖案的柔性基板，所述柔性基板接合于所述端部上表面，所述布線電極與所述引出電極電連接。另外，所述槽包括液體吐出用的吐出槽和不吐出液 體的虛設(shè)槽，所述供給口和所述排出口與所述吐出槽連通，所述吐出槽和所述虛設(shè)槽交互地并列地設(shè)置。另外，所述供給口和所述排出ロ對所述吐出槽開ロ，對所述虛設(shè)槽封閉。另外，還具備設(shè)置于所述噴嘴板與所述側(cè)壁之間的增強板，所述增強板具有與所述噴嘴連通的貫通孔。另外，所述側(cè)壁具有將沿互相相反的方向極化的壓電體層疊而成的層疊構(gòu)造。本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護點】
一種液體噴射頭，具備：噴嘴板，具有用于吐出液體的噴嘴；側(cè)壁，設(shè)置于所述噴嘴板的上方，構(gòu)成長度方向的深度一定的槽；驅(qū)動電極，形成于所述側(cè)壁的壁面；蓋板，設(shè)置于所述側(cè)壁的上表面，具備將液體供給至所述槽的供給口和從所述槽排出液體的排出口；以及封閉件，將比所述槽與所述供給口之間和所述槽與所述排出口之間的各連通部更靠外側(cè)的槽封閉。
【技術(shù)特征摘要】
...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：小關(guān)修，
申請(專利權(quán))人：精工電子打印科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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