【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種帶有感應晶圓花籃功能的起吊裝置，用于半導體清洗設備中。
技術介紹
目前，在半導體清洗設備中，晶圓花籃的起吊裝置上沒有感應器，不能自動控制，運行中常會出現該鉤住時沒鉤住，該脫鉤時沒脫鉤的情況發生，會使晶圓脫落而造成損失。
技術實現思路
本技術的目的是克服現有技術的不足，提供一種結構簡單、能實現自動化控制并且自動感應晶圓花籃的起吊裝置。 實現本技術目的的技術方案是一種帶有感應晶圓花籃功能的起吊裝置，包括機械手吊鉤和花籃承載筐，機械手吊鉤的兩側均設置有至少兩個以上的鉤部，花籃承載筐上設置有與鉤部相配的凸起部，至少一個鉤部內固定有傳感器，相應的凸起部內固定有與傳感器相配的感應塊。采用了上述技術方案后，當鉤部勾起凸起部時，傳感器與感應塊接觸很近，傳感器感應到感應塊，發信號給控制單元，確認鉤住花籃承載筐，然后控制單元發指令給機械手提升起花籃承載筐，即吊起花籃承載筐動作完成；當鉤部與凸起部脫離時，傳感器感應不到感應塊，傳感器發信號給控制單元，確認機械手吊鉤空載，可以提升，即花籃承載筐脫鉤成功，本技術的鉤部兩側各設置為兩個以上，兩個以上的鉤部形成一個面，鉤取花籃承載筐更加穩定可靠，本技術結構簡單，并且具有自動感應晶圓花籃是否鉤住的功能，起到一定的防護作用，通過控制單元便能實現自動化控制，不需要人工干預，降低了成本，提高了生產效率。附圖說明圖I為本技術的帶有感應晶圓花籃功能的起吊裝置的結構立體圖。具體實施方式為了使本技術的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本技術作進一步詳細的說明，如圖I所示,一種帶有感應晶圓花籃功能的起吊裝置,包括機械手吊...
【技術保護點】
一種帶有感應晶圓花籃功能的起吊裝置，包括機械手吊鉤（1）和花籃承載筐（2），機械手吊鉤（1）的兩側均設置有至少兩個以上的鉤部（1？1），花籃承載筐（2）上設置有與鉤部（1？1）相配的凸起部（2？1），其特征在于：至少一個鉤部（1？1）內固定有傳感器（3），相應的凸起部（2？1）內固定有與傳感器（3）相配的感應塊（4）。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：卡爾·羅伯特·休斯特，
申請(專利權)人：硅密常州電子設備有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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